膜片型光纤微压力传感器制备
| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第7-21页 |
| 1.1 光纤法布里－珀罗传感器发展概述 | 第7-9页 |
| 1.2 光纤压力传感器简介 | 第9-10页 |
| 1.2.1 光纤光栅压力传感器 | 第9-10页 |
| 1.2.2 光纤法布里－珀罗压力传感器 | 第10页 |
| 1.3 膜片式光纤FPI传感器的研究和发展概述 | 第10-18页 |
| 1.4 论文的选题依据及意义 | 第18-19页 |
| 1.5 论文的结构及主要内容 | 第19-20页 |
| 1.6 本章小节 | 第20-21页 |
| 2 EFPI光纤压力传感器工作机理 | 第21-32页 |
| 2.1 EFPI光纤压力传感器传感原理 | 第21-27页 |
| 2.1.1 基于FP腔的光的干涉原理 | 第21-23页 |
| 2.1.2 EFPI光纤压力传感器的典型结构 | 第23-25页 |
| 2.1.3 膜片式EFPI光纤压力传感器传感原理 | 第25-27页 |
| 2.2 EFPI光纤压力传感器的解调 | 第27-31页 |
| 2.2.1 强度解调法 | 第27-29页 |
| 2.2.2 相位解调法 | 第29-31页 |
| 2.3 本章小结 | 第31-32页 |
| 3 膜片式EFPI光纤压力传感器的设计及制作 | 第32-45页 |
| 3.1 膜片式EFPI光纤压力传感器的设计 | 第32-36页 |
| 3.1.1 薄膜的压力效应 | 第32-33页 |
| 3.1.2 膜片的材料选择 | 第33-34页 |
| 3.1.3 膜片的厚度及半径分析 | 第34-36页 |
| 3.2 膜片式EFPI光纤压力传感器的制作 | 第36-44页 |
| 3.2.1 传感器具体结构 | 第36-37页 |
| 3.2.2 金薄膜的制备 | 第37-39页 |
| 3.2.3 光纤与毛细管的熔接 | 第39-41页 |
| 3.2.4 金薄膜的粘附过程 | 第41-44页 |
| 3.3 本章小节 | 第44-45页 |
| 4 膜片式EFPI光纤压力传感器实验 | 第45-55页 |
| 4.1 压力传感测试系统 | 第45-50页 |
| 4.1.1 液压传感测试系统 | 第45-47页 |
| 4.1.2 气压传感测试系统 | 第47-48页 |
| 4.1.3 传感器解调软件 | 第48-50页 |
| 4.2 传感器的灵敏度测试及分析 | 第50-54页 |
| 4.3 传感器的重复性测试及分析 | 第54页 |
| 4.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 致谢 | 第60-62页 |
