| 摘要 | 第4-5页 |
| abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第14-30页 |
| 1.1 研究背景 | 第14-15页 |
| 1.2 薄膜制备技术 | 第15-16页 |
| 1.2.1 薄膜的物理气相沉积技术 | 第15-16页 |
| 1.2.2 薄膜的化学气相沉积技术 | 第16页 |
| 1.3 过渡金属硫化物基薄膜摩擦学性能的研究进展 | 第16-27页 |
| 1.3.1 TMD-Me薄膜的结构及摩擦学性能 | 第17-19页 |
| 1.3.2 TMD-C薄膜的结构及摩擦学性能 | 第19-25页 |
| 1.3.3 TMD-N薄膜的结构及摩擦学性能 | 第25-27页 |
| 1.4 本文的研究目的和研究内容 | 第27-30页 |
| 1.4.1 本文的研究目的 | 第27-28页 |
| 1.4.2 本文的研究内容 | 第28-30页 |
| 第二章 试验方法 | 第30-36页 |
| 2.1 实验方案 | 第30页 |
| 2.2 薄膜的制备工艺 | 第30-33页 |
| 2.2.1 磁控溅射设备 | 第30-31页 |
| 2.2.2 WS(C)薄膜制备 | 第31页 |
| 2.2.3 WSN薄膜制备 | 第31-32页 |
| 2.2.4 WSCN薄膜制备 | 第32-33页 |
| 2.3 薄膜结构的表征分析 | 第33页 |
| 2.4 薄膜的力学性能分析 | 第33-34页 |
| 2.5 薄膜的摩擦学性能分析 | 第34-35页 |
| 2.6 本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 WS(C)薄膜的结构、力学性能及空气中的摩擦学性能 | 第36-56页 |
| 3.1 引言 | 第36页 |
| 3.2 不同WS2靶材溅射功率下制备的WS(C)薄膜 | 第36-48页 |
| 3.2.1 WS(C)薄膜的制备方案 | 第36-37页 |
| 3.2.2 WS(C)薄膜的成分和结构分析 | 第37-39页 |
| 3.2.3 WS(C)薄膜的形貌及力学性能分析 | 第39-43页 |
| 3.2.4 WS(C)薄膜在空气中的摩擦学性能分析 | 第43-48页 |
| 3.3 不同偏压下制备的WSC薄膜 | 第48-53页 |
| 3.3.1 WSC薄膜的制备方案 | 第48-49页 |
| 3.3.2 WSC薄膜的结构和力学性能分析 | 第49-50页 |
| 3.3.3 WSC薄膜在空气中的摩擦学性能分析 | 第50-53页 |
| 3.4 WS(C)薄膜在空气中的摩擦磨损机理分析 | 第53-54页 |
| 3.5 本章小结 | 第54-56页 |
| 第四章 WSN薄膜的结构、力学性能及空气中的摩擦学性能 | 第56-70页 |
| 4.1 引言 | 第56页 |
| 4.2 不同N2流量下制备的WSN薄膜 | 第56-63页 |
| 4.2.1 WSN薄膜的制备方案 | 第56-57页 |
| 4.2.2 WSN薄膜的成分和结构分析 | 第57-58页 |
| 4.2.3 WSN薄膜的力学性能分析 | 第58-60页 |
| 4.2.4 WSN薄膜的摩擦学性能分析 | 第60-63页 |
| 4.3 不同偏压下制备的WSN薄膜 | 第63-68页 |
| 4.3.1 WSN薄膜的制备方案 | 第63页 |
| 4.3.2 WSN薄膜的结构和形貌分析 | 第63-64页 |
| 4.3.3 WSN薄膜的力学性能分析 | 第64-65页 |
| 4.3.4 WSN薄膜的摩擦学性能分析 | 第65-68页 |
| 4.4 WSN薄膜在空气中的摩擦磨损机理分析 | 第68-69页 |
| 4.5 本章小结 | 第69-70页 |
| 第五章 WSCN薄膜的结构、力学性能及空气中的摩擦学性能 | 第70-86页 |
| 5.1 引言 | 第70页 |
| 5.2 不同N2流量下制备的WSCN薄膜 | 第70-79页 |
| 5.2.1 WSCN薄膜的制备方案 | 第70-71页 |
| 5.2.2 WSCN薄膜的成分和结构分析 | 第71-73页 |
| 5.2.3 WSCN薄膜的形貌分析 | 第73-74页 |
| 5.2.4 WSCN薄膜的力学性能分析 | 第74-75页 |
| 5.2.5 WSCN薄膜的摩擦学性能分析 | 第75-79页 |
| 5.3 不同偏压下制备的WSCN薄膜 | 第79-84页 |
| 5.3.1 WSCN薄膜的制备方案 | 第79-80页 |
| 5.3.2 WSCN薄膜的结构分析 | 第80页 |
| 5.3.3 WSCN薄膜的力学性能分析 | 第80-81页 |
| 5.3.4 WSCN薄膜的摩擦学性能分析 | 第81-84页 |
| 5.4 WSCN薄膜在空气中的摩擦磨损机理分析 | 第84页 |
| 5.5 本章小结 | 第84-86页 |
| 第六章 总结与展望 | 第86-88页 |
| 6.1 总结 | 第86-87页 |
| 6.2 展望 | 第87-88页 |
| 参考文献 | 第88-95页 |
| 致谢 | 第95-96页 |
| 在校期间的研究成果及发表的学术论文 | 第96页 |
