| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1 前言 | 第9-20页 |
| 1.1 类金刚石薄膜材料的结构、组成与性能 | 第9-13页 |
| 1.1.1 类金刚石薄膜的组成与分类 | 第9-10页 |
| 1.1.2 类金刚石薄膜的结构 | 第10-11页 |
| 1.1.3 类金刚石薄膜的性能与应用 | 第11-13页 |
| 1.1.3.1 机械性能与应用 | 第11-12页 |
| 1.1.3.2 电学性能与应用 | 第12页 |
| 1.1.3.3 光学性能与应用 | 第12页 |
| 1.1.3.4 生物相容性与应用 | 第12-13页 |
| 1.2 类金刚石薄膜材料的制备方法 | 第13-14页 |
| 1.2.1 物理气相沉积(PVD) | 第13-14页 |
| 1.2.2 化学气相沉积(CVD) | 第14页 |
| 1.2.3 液相沉积技术 | 第14页 |
| 1.3 超润滑类金刚石薄膜材料的研究现状 | 第14-18页 |
| 1.3.1 超润滑类金刚石薄膜材料的不足 | 第14-15页 |
| 1.3.2 超润滑类金刚石薄膜材料的发展趋势 | 第15-18页 |
| 1.3.2.1 元素掺杂的超润滑类金刚石薄膜材料 | 第15-16页 |
| 1.3.2.2 碳特殊纳米结构薄膜 | 第16-18页 |
| 1.4 选题目的及意义 | 第18-20页 |
| 2 外场诱导碳膜中程有序纳米结构的生长与可控制备 | 第20-40页 |
| 2.1 气源比对碳膜中程有序纳米结构生长的影响 | 第20-27页 |
| 2.1.1 实验部分 | 第20-21页 |
| 2.1.1.1 薄膜的制备 | 第20-21页 |
| 2.1.1.2 薄膜的结构表征 | 第21页 |
| 2.1.2 结果与讨论 | 第21-25页 |
| 2.1.3 小结 | 第25-27页 |
| 2.2 靶面形貌对碳膜中程有序纳米结构生长的影响 | 第27-32页 |
| 2.2.1 实验部分 | 第27-29页 |
| 2.2.1.1 靶面热处理 | 第27-28页 |
| 2.2.1.2 薄膜的制备 | 第28页 |
| 2.2.1.3 薄膜的结构表征 | 第28-29页 |
| 2.2.2 结果与讨论 | 第29-31页 |
| 2.2.3 小结 | 第31-32页 |
| 2.3 靶电流对碳膜中程有序纳米结构生长的影响 | 第32-40页 |
| 2.3.1 实验部分 | 第32页 |
| 2.3.1.1 薄膜的制备 | 第32页 |
| 2.3.1.2 薄膜的表征 | 第32页 |
| 2.3.2 结果与讨论 | 第32-38页 |
| 2.3.3 外场诱导中程有序纳米机构的生长机理 | 第38-39页 |
| 2.3.4 小结 | 第39-40页 |
| 3 碳膜中程有序纳米结构与力学、摩擦学性能的相关性及作用机理 | 第40-53页 |
| 3.1 碳膜中程有序纳米结构与薄膜力学性能的相关性 | 第40-45页 |
| 3.1.1 实验部分 | 第40页 |
| 3.1.2 结果与讨论 | 第40-44页 |
| 3.1.3 小结 | 第44-45页 |
| 3.2 碳膜中程有序纳米结构与摩擦学性能的相关性 | 第45-48页 |
| 3.2.1 实验部分 | 第45页 |
| 3.2.2 结果与讨论 | 第45-47页 |
| 3.2.3 小结 | 第47-48页 |
| 3.3 碳膜转移膜超润滑机理的验证 | 第48-53页 |
| 3.3.1 实验部分 | 第48页 |
| 3.3.2 结果与讨论 | 第48-52页 |
| 3.3.3 小结 | 第52-53页 |
| 4 结束语 | 第53-55页 |
| 4.1 论文的主要研究内容与结论 | 第53-54页 |
| 4.2 存在的问题和今后工作的研究内容 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-61页 |
| 攻读学位期间的研究成果 | 第61页 |