基于LCOS数字光变图像光刻方法研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-14页 |
| ·课题研究目的与意义 | 第8-9页 |
| ·国内外发展状况 | 第9-12页 |
| ·国外发展状况 | 第9-11页 |
| ·国内发展状况 | 第11-12页 |
| ·本文创新点和内容安排 | 第12-14页 |
| 第2章 光变图像的基础理论与关键性技术 | 第14-28页 |
| ·光学基础 | 第14-21页 |
| ·光的干涉 | 第14-17页 |
| ·光的衍射 | 第17-19页 |
| ·光栅 | 第19-21页 |
| ·全息术 | 第21-25页 |
| ·物光波的记录 | 第22-23页 |
| ·物光波的再现 | 第23页 |
| ·全息图的基本类型 | 第23-25页 |
| ·光变图像及制作方法 | 第25-28页 |
| ·光变图像的概念 | 第25-26页 |
| ·光变图像的制作方法 | 第26-28页 |
| 第3章 基于数字光栅的光刻实验系统设计 | 第28-41页 |
| ·系统的基本结构及原理 | 第28-33页 |
| ·系统的结构 | 第28-29页 |
| ·系统的原理 | 第29-33页 |
| ·关键性器件 | 第33-41页 |
| ·激光器与扩束准直系统 | 第33-34页 |
| ·LCOS 空间光调制器 | 第34-38页 |
| ·偏振分光棱镜 | 第38-39页 |
| ·缩微投影 4f 系统 | 第39-41页 |
| 第4章 数字光栅的设计与光变图像的编码 | 第41-52页 |
| ·数字光栅模板的设计 | 第41-46页 |
| ·数字光栅的设计依据及要求 | 第41-43页 |
| ·数字光栅的设计实现 | 第43-46页 |
| ·二维图像的编码原理 | 第46-48页 |
| ·立体视图的编码原理 | 第48-52页 |
| ·同一位置记录多幅图像原理 | 第48-50页 |
| ·双目立体视觉编码原理 | 第50-52页 |
| 第5章 实验系统特征与曝光结果 | 第52-57页 |
| ·系统特征 | 第52-53页 |
| ·分辨率 | 第52页 |
| ·工作效率 | 第52-53页 |
| ·曝光结果 | 第53-57页 |
| ·计算机模拟结果 | 第53-55页 |
| ·三维光变图像制作结果 | 第55-57页 |
| 第6章 总结与展望 | 第57-59页 |
| ·总结 | 第57-58页 |
| ·后续工作展望 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 附录 | 第64页 |
