铈镁交替掺杂钛酸锶钡薄膜介电调谐性能研究
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 BST薄膜结构及有关理论 | 第11-15页 |
| 1.1.1 BST薄膜结构 | 第11-12页 |
| 1.1.2 BST薄膜介电性能 | 第12-14页 |
| 1.1.3 BST薄膜掺杂理论 | 第14-15页 |
| 1.2 铈掺杂BST薄膜研究概况 | 第15-17页 |
| 1.3 镁掺杂BST薄膜研究概况 | 第17-18页 |
| 1.4 交替掺杂BST薄膜研究概况 | 第18-20页 |
| 1.5 论文创新与主要内容 | 第20-22页 |
| 第二章 交替掺杂薄膜设计 | 第22-29页 |
| 2.1 薄膜设计 | 第22-23页 |
| 2.1.1 掺杂元素选择 | 第22页 |
| 2.1.2 结构设计 | 第22-23页 |
| 2.2 薄膜制备方法介绍 | 第23-27页 |
| 2.2.1 Sol-gel制备法原理 | 第24页 |
| 2.2.2 Sol-gel制备法改进工艺 | 第24-27页 |
| 2.3 薄膜表征及测试方法介绍 | 第27-29页 |
| 2.3.1 XRD表征 | 第27页 |
| 2.3.2 SEM表征 | 第27-28页 |
| 2.3.3 介电性能表征 | 第28-29页 |
| 第三章 BST薄膜一元掺杂 | 第29-50页 |
| 3.1 铈掺杂BST薄膜 | 第29-35页 |
| 3.1.1 XRD分析 | 第29-31页 |
| 3.1.2 介电性能测试 | 第31-33页 |
| 3.1.3 介电性能分析 | 第33-35页 |
| 3.2 铈掺杂BST薄膜优化 | 第35-37页 |
| 3.2.1 XRD分析 | 第35-36页 |
| 3.2.2 介电性能分析 | 第36-37页 |
| 3.3 镁掺杂BST薄膜 | 第37-40页 |
| 3.3.1 XRD分析 | 第38-39页 |
| 3.3.2 介电性能分析 | 第39-40页 |
| 3.4 镁掺杂BST薄膜优化 | 第40-46页 |
| 3.4.1 XRD分析 | 第41-42页 |
| 3.4.2 介电性能分析 | 第42-46页 |
| 3.5 SEM分析 | 第46-48页 |
| 3.5.1 表面形貌 | 第46-47页 |
| 3.5.2 截面形貌 | 第47-48页 |
| 3.6 本章小结 | 第48-50页 |
| 第四章 铈镁交替掺杂BST薄膜 | 第50-60页 |
| 4.1 铈/镁交替掺杂BST薄膜 | 第50-52页 |
| 4.1.1 介电调谐率分析 | 第50-51页 |
| 4.1.2 介电损耗分析 | 第51-52页 |
| 4.2 镁/铈交替掺杂BST薄膜 | 第52-59页 |
| 4.2.1 XRD分析 | 第52-53页 |
| 4.2.2 介电性能测试 | 第53-54页 |
| 4.2.3 介电性能分析 | 第54-57页 |
| 4.2.4 频率对介电性能影响 | 第57-59页 |
| 4.3 本章小结 | 第59-60页 |
| 第五章 铈镁交替掺杂BST薄膜优化 | 第60-76页 |
| 5.1 低浓度铈镁交替掺杂薄膜 | 第60-65页 |
| 5.1.1 XRD分析 | 第60-61页 |
| 5.1.2 介电性能测试 | 第61-63页 |
| 5.1.3 介电性能分析 | 第63-65页 |
| 5.2 高浓度铈镁交替掺杂薄膜 | 第65-69页 |
| 5.2.1 XRD分析 | 第65-66页 |
| 5.2.2 介电性能测试 | 第66页 |
| 5.2.3 介电性能分析 | 第66-69页 |
| 5.3 频率对介电性能影响 | 第69-70页 |
| 5.4 SEM分析 | 第70-74页 |
| 5.4.1 表面形貌 | 第70-72页 |
| 5.4.2 截面形貌 | 第72-74页 |
| 5.5 本章小结 | 第74-76页 |
| 第六章 成果及展望 | 第76-78页 |
| 6.1 成果 | 第76-77页 |
| 6.2 展望 | 第77-78页 |
| 致谢 | 第78-79页 |
| 参考文献 | 第79-87页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第87-88页 |
