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铈镁交替掺杂钛酸锶钡薄膜介电调谐性能研究

摘要第5-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第11-22页
    1.1 BST薄膜结构及有关理论第11-15页
        1.1.1 BST薄膜结构第11-12页
        1.1.2 BST薄膜介电性能第12-14页
        1.1.3 BST薄膜掺杂理论第14-15页
    1.2 铈掺杂BST薄膜研究概况第15-17页
    1.3 镁掺杂BST薄膜研究概况第17-18页
    1.4 交替掺杂BST薄膜研究概况第18-20页
    1.5 论文创新与主要内容第20-22页
第二章 交替掺杂薄膜设计第22-29页
    2.1 薄膜设计第22-23页
        2.1.1 掺杂元素选择第22页
        2.1.2 结构设计第22-23页
    2.2 薄膜制备方法介绍第23-27页
        2.2.1 Sol-gel制备法原理第24页
        2.2.2 Sol-gel制备法改进工艺第24-27页
    2.3 薄膜表征及测试方法介绍第27-29页
        2.3.1 XRD表征第27页
        2.3.2 SEM表征第27-28页
        2.3.3 介电性能表征第28-29页
第三章 BST薄膜一元掺杂第29-50页
    3.1 铈掺杂BST薄膜第29-35页
        3.1.1 XRD分析第29-31页
        3.1.2 介电性能测试第31-33页
        3.1.3 介电性能分析第33-35页
    3.2 铈掺杂BST薄膜优化第35-37页
        3.2.1 XRD分析第35-36页
        3.2.2 介电性能分析第36-37页
    3.3 镁掺杂BST薄膜第37-40页
        3.3.1 XRD分析第38-39页
        3.3.2 介电性能分析第39-40页
    3.4 镁掺杂BST薄膜优化第40-46页
        3.4.1 XRD分析第41-42页
        3.4.2 介电性能分析第42-46页
    3.5 SEM分析第46-48页
        3.5.1 表面形貌第46-47页
        3.5.2 截面形貌第47-48页
    3.6 本章小结第48-50页
第四章 铈镁交替掺杂BST薄膜第50-60页
    4.1 铈/镁交替掺杂BST薄膜第50-52页
        4.1.1 介电调谐率分析第50-51页
        4.1.2 介电损耗分析第51-52页
    4.2 镁/铈交替掺杂BST薄膜第52-59页
        4.2.1 XRD分析第52-53页
        4.2.2 介电性能测试第53-54页
        4.2.3 介电性能分析第54-57页
        4.2.4 频率对介电性能影响第57-59页
    4.3 本章小结第59-60页
第五章 铈镁交替掺杂BST薄膜优化第60-76页
    5.1 低浓度铈镁交替掺杂薄膜第60-65页
        5.1.1 XRD分析第60-61页
        5.1.2 介电性能测试第61-63页
        5.1.3 介电性能分析第63-65页
    5.2 高浓度铈镁交替掺杂薄膜第65-69页
        5.2.1 XRD分析第65-66页
        5.2.2 介电性能测试第66页
        5.2.3 介电性能分析第66-69页
    5.3 频率对介电性能影响第69-70页
    5.4 SEM分析第70-74页
        5.4.1 表面形貌第70-72页
        5.4.2 截面形貌第72-74页
    5.5 本章小结第74-76页
第六章 成果及展望第76-78页
    6.1 成果第76-77页
    6.2 展望第77-78页
致谢第78-79页
参考文献第79-87页
攻硕期间取得的研究成果第87-88页

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