新型绝缘栅型光电导开关的器件设计与优化
| 摘要 | 第3-4页 |
| abstract | 第4-5页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| 1.1 光电导开关器件简介 | 第7-8页 |
| 1.2 光电导开关技术发展现状 | 第8-11页 |
| 1.3 宽禁带功率器件国内外发展现状 | 第11-12页 |
| 1.4 本文研究内容与意义 | 第12-15页 |
| 2 VDIG-PCSS结构设计与建模 | 第15-31页 |
| 2.1 结构设计与工作原理 | 第15-19页 |
| 2.2 器件仿真工具 | 第19-22页 |
| 2.2.1 Silvaco TCAD简介 | 第19页 |
| 2.2.2 Devedit模块 | 第19-20页 |
| 2.2.3 Atlas模块 | 第20-22页 |
| 2.3 VDIG-PCSS器件建模 | 第22-29页 |
| 2.3.1 选取物理模型 | 第22-28页 |
| 2.3.2 器件模型 | 第28-29页 |
| 2.4 本章小节 | 第29-31页 |
| 3 VDIG-PCSS静态特性仿真与结果分析 | 第31-37页 |
| 3.1 静态特性分析 | 第31-32页 |
| 3.2 静态参数优化 | 第32-35页 |
| 3.2.1 横向变掺杂作用验证 | 第32-34页 |
| 3.2.2 外延层的参数优化 | 第34-35页 |
| 3.3 本章小节 | 第35-37页 |
| 4 VDIG-PCSS动态特性仿真与结果分析 | 第37-45页 |
| 4.1 动态分压特性 | 第37页 |
| 4.2 光电流的输出特性 | 第37-43页 |
| 4.3 本章小节 | 第43-45页 |
| 5 测试系统的设计与可行性验证 | 第45-53页 |
| 5.1 GaN:Fe电阻率与击穿场强实测 | 第45-47页 |
| 5.2 527nm激光触发GaN:Fe开关实验 | 第47-49页 |
| 5.3 测试电路系统设计与可行性验证 | 第49-51页 |
| 5.4 本章小节 | 第51-53页 |
| 6 总结与展望 | 第53-55页 |
| 6.1 本文研究工作总结 | 第53页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第53-55页 |
| 致谢 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-61页 |
| 附录 | 第61页 |
