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金属氧化物半导体的表面修饰及其对硫化氢的室温气敏性能研究

摘要第4-5页
abstract第5页
第一章 绪论第8-18页
    1.1 引言第8页
    1.2 硫化氢气体的危害第8-10页
    1.3 硫化氢气体的检测第10-12页
        1.3.1 硫化氢气体的检测方法分类第10页
        1.3.2 氧化物基硫化氢气体传感器的检测原理第10-12页
    1.4 氧化物基硫化氢气敏器件的研究现状第12-16页
        1.4.1 纯相金属氧化物型硫化氢气敏器件第12-13页
        1.4.2 贵金属修饰型硫化氢气敏器件第13-15页
        1.4.3 核壳异质结构型硫化氢气敏器件第15-16页
    1.5 本论文研究目的与内容第16-18页
第二章 金修饰氧化锌@硫化锌器件的制备及其气敏性能第18-29页
    2.1 实验试剂与仪器第18-19页
    2.2 金修饰的氧化锌@硫化锌核壳结构的制备第19-20页
        2.2.1 氧化锌纳米阵列的制备第19-20页
        2.2.2 金修饰氧化锌@硫化锌核壳结构的制备第20页
    2.3 金修饰对氧化锌@硫化锌气敏器件的气敏性能影响第20-28页
        2.3.1 氧化锌@硫化锌器件对硫化氢的气敏响应第20-21页
        2.3.2 不同程度金修饰对器件气敏响应的影响第21-25页
        2.3.3 室温下金修饰氧化锌@硫化锌器件对低浓度H2S气敏响应第25-26页
        2.3.4 室温下金修饰氧化锌@硫化锌器件对H2S气体的选择性第26-27页
        2.3.5 室温下金修饰氧化锌@硫化锌器件对湿度的响应第27-28页
    2.4 本章小结第28-29页
第三章 金修饰氧化锌@硫化锌气敏器件的响应机理第29-42页
    3.1 实验试剂与仪器第29页
    3.2 金修饰氧化锌@硫化锌核壳结构的形貌表征第29-31页
    3.3 金修饰氧化锌@硫化锌核壳结构的结构表征第31-34页
        3.3.1 金修饰氧化锌@硫化锌X射线衍射分析第31-32页
        3.3.2 金修饰氧化锌@硫化锌X射线光电子能谱分析第32-34页
    3.4 金修饰氧化锌@硫化锌核壳结构的气敏机理第34-40页
        3.4.1 硫化锌薄层对氧化锌气敏器件的影响第34-35页
        3.4.2 金纳米颗粒对气敏器件的影响第35-40页
    3.5 敏感机理分析第40-41页
    3.6 本章小结第41-42页
第四章 氧化铜@硫化铜气敏器件的制备及其气敏性能第42-48页
    4.1 实验试剂与仪器第42-43页
    4.2 氧化铜纳米片的水热合成及其表征第43-45页
        4.2.1 氧化铜纳米片的水热合成第43页
        4.2.2 氧化铜纳米片的形貌调控第43-45页
    4.3 氧化铜基气敏器件室温下对H2S的气敏响应第45-47页
        4.3.1 氧化铜@硫化铜核壳结构气敏器件的制备第45-46页
        4.3.2 氧化铜@硫化铜核壳结构对H2S的气敏响应第46-47页
    4.4 本章小结第47-48页
第五章 全文总结第48-50页
参考文献第50-55页
发表论文和科研情况说明第55-56页
致谢第56页

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