| 内容摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第18-34页 |
| 1.1 挥发性有机化合物(VOCs)简介 | 第18-19页 |
| 1.2 柔性电子 | 第19-21页 |
| 1.3 柔性气体传感器研究进展 | 第21-24页 |
| 1.3.1 柔性衬底 | 第21-22页 |
| 1.3.2 敏感材料和传感机理 | 第22-24页 |
| 1.4 柔性温控系统 | 第24-26页 |
| 1.5 本文研究内容及意义 | 第26-27页 |
| 参考文献 | 第27-34页 |
| 第二章 柔性Polyimide衬底双面金属图形化 | 第34-49页 |
| 2.1 柔性衬底：聚酰亚胺 | 第34页 |
| 2.2 PI衬底表面金属图形化工艺回顾 | 第34-37页 |
| 2.2.1 传统MEMS金属图形化工艺 | 第35页 |
| 2.2.2 喷墨打印技术 | 第35-37页 |
| 2.2.3 纳米压印光刻工艺(NIL) | 第37页 |
| 2.3 PI衬底双面金属图形化工艺 | 第37-47页 |
| 2.3.1 PI表面金属化 | 第37-42页 |
| 2.3.2 基于喷墨打印的PI衬底双面金属图形化制备工艺 | 第42-44页 |
| 2.3.3 基于干膜光刻的PI衬底双面金属图形化制备工艺 | 第44-47页 |
| 2.4 本章小结 | 第47页 |
| 参考文献 | 第47-49页 |
| 第三章 集成有温度控制系统的柔性加热平台研究 | 第49-66页 |
| 3.1 加热器—传感器集成结构的意义 | 第49页 |
| 3.2 基于柔性PI衬底的加热器设计 | 第49-56页 |
| 3.2.1 加热器工作原理 | 第49-50页 |
| 3.2.2 柔性加热器结构设计 | 第50-51页 |
| 3.2.3 基于柔性衬底加热器性能测试 | 第51-55页 |
| 3.2.4 加热器结构改进 | 第55-56页 |
| 3.3 基于STM32单片机的加热器温度控制系统 | 第56-64页 |
| 3.3.1 总体设计 | 第57页 |
| 3.3.2 器件选择和电路设计 | 第57-60页 |
| 3.3.3 原理图设计分析 | 第60页 |
| 3.3.4 软件设计 | 第60-63页 |
| 3.3.5 系统调试 | 第63-64页 |
| 3.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-66页 |
| 第四章 基于MOS的柔性加热式VOCs气体传感器 | 第66-85页 |
| 4.1 柔性加热式ZnO气体传感器 | 第66-77页 |
| 4.1.1 柔性加热式ZnO传感器的制备 | 第67-68页 |
| 4.1.2 ZnO薄膜表征 | 第68-69页 |
| 4.1.3 柔性加热式ZnO气体传感器性能测试 | 第69-77页 |
| 4.2 柔性加热式纳米ZnO-SnO_2复合材料气体传感器 | 第77-82页 |
| 4.2.1 柔性纳米ZnO-SnO_2复合材料传感器的制备 | 第78页 |
| 4.2.2 ZnO-SnO_2复合材料的表征 | 第78-79页 |
| 4.2.3 柔性加热式ZnO-SnO_2气体传感器性能测试 | 第79-82页 |
| 4.3 本章小结 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-85页 |
| 第五章 TiO_2改性石墨烯基柔性VOCs气体传感器研究 | 第85-97页 |
| 5.1 层层自组装技术 | 第85-86页 |
| 5.2 基于LBL自组装技术的柔性TiO_2/rGO传感器的制备 | 第86-92页 |
| 5.2.1 基于银电极的柔性TiO_2/rGO传感器的制备 | 第86-88页 |
| 5.2.2 PI衬底镍金属图形化 | 第88-90页 |
| 5.2.3 基于镍电极的柔性TiO_2/rGO传感器的制备 | 第90-92页 |
| 5.3 柔性TiO_2/rGO传感器室温下VOCs气体响应测试 | 第92-94页 |
| 5.4 本章小结 | 第94页 |
| 参考文献 | 第94-97页 |
| 第六章 总结与展望 | 第97-99页 |
| 附录 | 第99-103页 |
| 致谢 | 第103-104页 |
| 硕士论文期间发表文章 | 第104页 |
