| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 引言 | 第10-16页 |
| 1.1 论文的研究背景和意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外的研究现状和发展趋势 | 第11-14页 |
| 1.3 本文的主要工作 | 第14-16页 |
| 第二章 ESD保护的基本原理 | 第16-34页 |
| 2.1 ESD的产生与保护 | 第16-18页 |
| 2.2 ESD的基本模型 | 第18-21页 |
| 2.3 ESD测试 | 第21-25页 |
| 2.3.1 ESD测试的组合方式 | 第22-23页 |
| 2.3.2 TLP（Transmission-Line-Plusing）测试系统简介 | 第23-25页 |
| 2.4 常用的ESD保护器件 | 第25-33页 |
| 2.5 本章小结 | 第33-34页 |
| 第三章 RF LDMOS栅极ESD保护器件设计 | 第34-62页 |
| 3.1 RF ESD设计的难点 | 第34-36页 |
| 3.2 RF LDMOS的工艺流程介绍 | 第36-40页 |
| 3.3 RF LDMOS栅极ESD保护器件的选择 | 第40-43页 |
| 3.4 RF LDMOS栅极ESD保护器件的分析与仿真设计 | 第43-58页 |
| 3.4.1 polydiode的分析与仿真设计 | 第43-48页 |
| 3.4.1.1 二极管寄生参数的分析 | 第44-45页 |
| 3.4.1.2 polydiode的工艺仿真 | 第45-48页 |
| 3.4.2 BJT的分析与仿真设计 | 第48-52页 |
| 3.4.2.1 BJT寄生参数的分析 | 第48-50页 |
| 3.4.2.2 BJT的工艺仿真 | 第50-52页 |
| 3.4.3 NMOS的分析与仿真设计 | 第52-55页 |
| 3.4.4 SCR的分析与仿真设计 | 第55-58页 |
| 3.5 RF LDMOS栅极ESD保护的电路设计 | 第58-60页 |
| 3.5.1 RLC谐振电路的介绍 | 第58-59页 |
| 3.5.2 LC谐振电路在RF ESD保护中的应用 | 第59-60页 |
| 3.6 本章小结 | 第60-62页 |
| 第四章 版图设计与测试结果分析 | 第62-72页 |
| 4.1 RF LDMOS栅极ESD保护器件版图设计及优化 | 第62-67页 |
| 4.1.1 ESD保护器件版图设计 | 第62-64页 |
| 4.1.2 ESD保护器件的版图优化 | 第64-67页 |
| 4.2 TLP测试结果分析 | 第67-70页 |
| 4.2.1 polydiode的TLP测试结果 | 第67-68页 |
| 4.2.2 级联NMOS的TLP测试结果 | 第68-69页 |
| 4.2.3 NPN的TLP测试结果 | 第69-70页 |
| 4.3 本章小结 | 第70-72页 |
| 第五章 结论 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 攻读硕士学位期间取得的研究成果 | 第78-79页 |
