应用于小型密封中子管的射频离子源设计
| 中文摘要 | 第4-6页 |
| 英文摘要 | 第6-7页 |
| 第一章 引言 | 第10-15页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外的研究进展 | 第11-14页 |
| 1.3 论文研究的主要内容 | 第14-15页 |
| 第二章 射频离子源基本概念 | 第15-30页 |
| 2.1 放电室内带电粒子的运动 | 第15-18页 |
| 2.1.1 有效截面 | 第15-16页 |
| 2.1.2 平均自由程 | 第16-17页 |
| 2.1.3 气体放电与电离倍增效应 | 第17-18页 |
| 2.2 射频功率耦合方式 | 第18-20页 |
| 2.2.1 电容耦合 | 第19页 |
| 2.2.2 感应耦合 | 第19-20页 |
| 2.3 射频放电方式 | 第20-23页 |
| 2.3.1 低气压放电 | 第21-22页 |
| 2.3.2 中高气压放电 | 第22-23页 |
| 2.4 放电室内气体分子电离临界条件计算 | 第23-24页 |
| 2.5 射频电路阻抗匹配原理 | 第24-27页 |
| 2.6 网络分析仪 | 第27-29页 |
| 2.7 本章小结 | 第29-30页 |
| 第三章 射频离子源的设计与实现 | 第30-47页 |
| 3.1 射频离子源整体设计 | 第30页 |
| 3.2 射频信号功率产生与传输设计 | 第30-44页 |
| 3.2.1 RF功率发生器 | 第30-36页 |
| 3.2.2 射频同轴电缆 | 第36-37页 |
| 3.2.3 耦合天线 | 第37-38页 |
| 3.2.4 阻抗匹配网络的设计 | 第38-44页 |
| 3.3 真空系统结构设计 | 第44-45页 |
| 3.3.1 等离子体放电室 | 第44-45页 |
| 3.3.2 真空抽气系统 | 第45页 |
| 3.3.3 真空检测系统 | 第45页 |
| 3.3.4 送气系统 | 第45页 |
| 3.4 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 实验与结果分析 | 第47-59页 |
| 4.1 测量装置与实验方法 | 第47-48页 |
| 4.2 耦合天线周围磁场模型仿真 | 第48-49页 |
| 4.3 初步试验及结果分析 | 第49-54页 |
| 4.3.1 匝间距对实验的影响 | 第49-51页 |
| 4.3.2 天线匝数对实验的影响 | 第51-53页 |
| 4.3.3 线圈直径对实验的影响 | 第53-54页 |
| 4.4 小型中子管结构设计 | 第54-57页 |
| 4.5 本章小结 | 第57-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-61页 |
| 5.1 总结 | 第59-60页 |
| 5.2 展望 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-64页 |
| 附录 | 第64-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 在学期间主要科研成果 | 第67页 |
