| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 文献综述 | 第8-19页 |
| 1.1 锂离子电池简介 | 第8-9页 |
| 1.1.1 锂离子电池的诞生及发展过程 | 第8页 |
| 1.1.2 锂离子电池的工作原理 | 第8-9页 |
| 1.1.3 锂离子电池的组成 | 第9页 |
| 1.2 锂离子电池负极材料的概况 | 第9-10页 |
| 1.3 硅基材料的研究进展 | 第10-13页 |
| 1.3.1 硅的氧化物 | 第10-11页 |
| 1.3.2 硅基合金 | 第11页 |
| 1.3.3 硅基复合材料 | 第11-12页 |
| 1.3.4 纳米硅材料 | 第12-13页 |
| 1.4 磁控溅射在制备锂离子电池负极材料中的应用 | 第13-17页 |
| 1.4.1 不同的靶材料 | 第14-16页 |
| 1.4.2 不同基底材料 | 第16页 |
| 1.4.3 工艺参数 | 第16页 |
| 1.4.4 多层薄膜复合结构 | 第16-17页 |
| 1.5 本论文的研究思路和主要研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 纯 Si 薄膜的制备及电化学性能研究 | 第19-29页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 实验 | 第19-21页 |
| 2.2.1 实验试剂与仪器 | 第19-20页 |
| 2.2.2 材料的制备 | 第20页 |
| 2.2.3 材料的物理性能表征 | 第20-21页 |
| 2.2.4 电池组装及电化学性能测试 | 第21页 |
| 2.3 结果与讨论 | 第21-28页 |
| 2.3.1 纯 Si 薄膜的微观形貌与物相分析 | 第21-24页 |
| 2.3.2 纯 Si 薄膜的充放电性能 | 第24-26页 |
| 2.3.3 纯 Si 薄膜的循环性能 | 第26-28页 |
| 2.3.4 纯 Si 薄膜的循环伏安及充放电机理初探 | 第28页 |
| 2.4 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 Si-Al 复合薄膜的电化学性能研究 | 第29-40页 |
| 3.1 引言 | 第29页 |
| 3.2 实验 | 第29-31页 |
| 3.2.1 实验试剂与仪器 | 第29-30页 |
| 3.2.2 材料的制备 | 第30页 |
| 3.2.3 材料的物理性能表征 | 第30页 |
| 3.2.4 电池组装及电化学性能测试 | 第30-31页 |
| 3.3 结果与讨论 | 第31-38页 |
| 3.3.1 Si-Al 复合薄膜的微观形貌分析 | 第31-34页 |
| 3.3.2 Si-Al 复合薄膜的物相分析 | 第34-35页 |
| 3.3.3 Si-Al 复合薄膜的充放电性能 | 第35-36页 |
| 3.3.4 Si-Al 复合薄膜的循环性能 | 第36-37页 |
| 3.3.5 Si-Al 复合薄膜的充放电机理初探 | 第37页 |
| 3.3.6 热处理对 Si-Al 复合薄膜性能的影响 | 第37-38页 |
| 3.4 本章小结 | 第38-40页 |
| 第四章 Si-C 复合薄膜的电化学性能研究 | 第40-50页 |
| 4.1 引言 | 第40页 |
| 4.2 实验 | 第40-41页 |
| 4.2.1 实验试剂与仪器 | 第40页 |
| 4.2.2 材料的制备 | 第40-41页 |
| 4.2.3 材料的物理性能表征 | 第41页 |
| 4.2.4 电池组装及电化学性能测试 | 第41页 |
| 4.3 结果与讨论 | 第41-48页 |
| 4.3.1 Si-C 复合薄膜的微观形貌分析 | 第41-44页 |
| 4.3.2 Si-C 复合薄膜的物相分析 | 第44页 |
| 4.3.3 Si-C 复合薄膜的充放电性能 | 第44-45页 |
| 4.3.4 Si-C 复合薄膜的循环性能 | 第45-46页 |
| 4.3.5 Si-C 复合薄膜的充放电机理初探 | 第46-47页 |
| 4.3.6 热处理对 Si-C 复合薄膜性能的影响 | 第47-48页 |
| 4.4 本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 全文结论 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-56页 |
| 攻读硕士学位期间已发表论文 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57页 |
