| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第13-29页 |
| 1.1 引言 | 第13页 |
| 1.2 BaM铁氧体的晶体结构和磁性能 | 第13-17页 |
| 1.2.1 BaM铁氧体的晶体结构 | 第13-15页 |
| 1.2.2 BaM铁氧体的性能特点 | 第15-17页 |
| 1.3 BaM铁氧体薄膜的应用 | 第17-20页 |
| 1.3.1 微波器件方面的应用 | 第17-19页 |
| 1.3.2 垂直磁记录方面的应用 | 第19页 |
| 1.3.3 吸波材料方面的应用 | 第19-20页 |
| 1.3.4 永磁器件方面的应用 | 第20页 |
| 1.4 BaM铁氧体薄膜的制备方法和研究进展 | 第20-27页 |
| 1.4.1 溶胶-凝胶法 | 第22-23页 |
| 1.4.2 射频溅射法 | 第23-24页 |
| 1.4.3 脉冲激光沉积法 | 第24-25页 |
| 1.4.4 液相外延法 | 第25-26页 |
| 1.4.5 丝网印刷法 | 第26-27页 |
| 1.5 存在的问题和发展趋势 | 第27-28页 |
| 1.6 选题依据及研究内容 | 第28-29页 |
| 第二章 BaM铁氧体薄膜的制备工艺及表征方法 | 第29-44页 |
| 2.1 薄膜的制备工艺 | 第29-36页 |
| 2.1.1 射频磁控溅射原理 | 第29-31页 |
| 2.1.2 溅射靶材的制备 | 第31-35页 |
| 2.1.3 薄膜的制备过程 | 第35-36页 |
| 2.2 薄膜的分析表征 | 第36-43页 |
| 2.2.1 晶相及成分分析 | 第36-39页 |
| 2.2.2 微观形貌及厚度测试 | 第39-40页 |
| 2.2.3 静态磁性能测试 | 第40-41页 |
| 2.2.4 微波性能测试 | 第41-43页 |
| 2.3 本章小结 | 第43-44页 |
| 第三章 BaM铁氧体薄膜的生长控制研究 | 第44-75页 |
| 3.1 引言 | 第44页 |
| 3.2 溅射功率对BaM薄膜生长的影响 | 第44-50页 |
| 3.3 溅射气压对BaM薄膜生长的影响 | 第50-54页 |
| 3.4 氧分压对BaM薄膜生长的影响 | 第54-61页 |
| 3.5 基片温度对BaM薄膜生长的影响 | 第61-65页 |
| 3.6 退火对BaM薄膜生长的影响 | 第65-73页 |
| 3.6.1 退火温度对BaM薄膜生长的影响 | 第66-69页 |
| 3.6.2 退火时间对BaM薄膜生长的影响 | 第69-73页 |
| 3.7 本章小结 | 第73-75页 |
| 第四章 不同基片和缓冲层对BaＭ铁氧体薄膜取向生长的影响 | 第75-107页 |
| 4.1 引言 | 第75页 |
| 4.2 不同基片对BaM铁氧体薄膜的影响研究 | 第75-79页 |
| 4.3 Pt（111）、ZnO（001）及AlN（001）层对BaM薄膜的影响研究 | 第79-86页 |
| 4.4 自缓冲层对BaM薄膜的影响研究 | 第86-102页 |
| 4.4.1 自缓冲层沉积温度研究 | 第86-95页 |
| 4.4.2 SiO_2/Si（100）基片上制备BaM薄膜研究 | 第95-99页 |
| 4.4.3 Al_2O_3（001）基片上制备BaM薄膜研究 | 第99-102页 |
| 4.5 BaM薄膜的拉曼光谱研究 | 第102-105页 |
| 4.6 本章小结 | 第105-107页 |
| 第五章 厚度对BaM铁氧体薄膜的影响及残余应力分析 | 第107-123页 |
| 5.1 引言 | 第107页 |
| 5.2 厚度对BaM薄膜的影响研究 | 第107-116页 |
| 5.2.1 厚度对BaM薄膜晶体结构的影响 | 第108-111页 |
| 5.2.2 厚度对BaM薄膜微观形貌的影响 | 第111-114页 |
| 5.2.3 厚度对BaM薄膜磁性能的影响 | 第114-116页 |
| 5.3 BaM薄膜中的残余应力分析 | 第116-122页 |
| 5.3.1 残余应力的测量与计算 | 第116-120页 |
| 5.3.2 残余应力的形成机制分析 | 第120-122页 |
| 5.4 本章小结 | 第122-123页 |
| 第六章 （BaM/BaM）_n多层膜的制备研究 | 第123-130页 |
| 6.1 引言 | 第123页 |
| 6.2 （BaM/BaM）_n多层膜的制备 | 第123-124页 |
| 6.3 （BaM/BaM）_n多层膜的性能分析 | 第124-129页 |
| 6.3.1 微观结构分析 | 第124-125页 |
| 6.3.2 静态磁性能测试分析 | 第125-127页 |
| 6.3.3 铁磁共振测试分析 | 第127-129页 |
| 6.4 本章小结 | 第129-130页 |
| 第七章 结论与展望 | 第130-133页 |
| 7.1 主要结论 | 第130-131页 |
| 7.2 主要创新点 | 第131-132页 |
| 7.3 研究展望 | 第132-133页 |
| 致谢 | 第133-134页 |
| 参考文献 | 第134-143页 |
| 攻读博士学位期间取得的成果 | 第143-144页 |
