| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6页 |
| 1 绪论 | 第9-17页 |
| 1.1 研究背景与意义 | 第9-11页 |
| 1.1.1 组合激光的特点 | 第10页 |
| 1.1.2 相关研究应用前景 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究进展 | 第11-15页 |
| 1.2.1 毫秒脉冲激光致单晶硅损伤的研究 | 第11页 |
| 1.2.2 纳秒脉冲激光致单晶硅的损伤研究 | 第11-12页 |
| 1.2.3 双脉冲激光对单晶硅损伤的研究 | 第12-13页 |
| 1.2.4 激光对半导体材料热损伤研究进展 | 第13-15页 |
| 1.3 本论文的主要内容和安排 | 第15-17页 |
| 2 基本理论和有限元模型 | 第17-30页 |
| 2.1 激光与单晶硅相互作用的基础理论 | 第17页 |
| 2.2 物质吸收与激光能量转化的研究 | 第17-19页 |
| 2.2.1 激光的吸收 | 第17-18页 |
| 2.2.2 半导体对光的吸收 | 第18-19页 |
| 2.3 材料的激光损伤机理 | 第19-21页 |
| 2.3.1 激光参数对单晶硅的损伤影响 | 第19-20页 |
| 2.3.2 材料的激光损伤机理 | 第20-21页 |
| 2.4 温度场与应力场的数值分析 | 第21-28页 |
| 2.4.1 温度场的有限元解法 | 第21-24页 |
| 2.4.2 热应力有限元解法 | 第24-28页 |
| 2.5 本章小结 | 第28-30页 |
| 3 能量对组合激光作用效果的影响 | 第30-45页 |
| 3.1 有限元计算模型 | 第30-31页 |
| 3.1.1 模型的建立 | 第30页 |
| 3.1.2 材料参数 | 第30-31页 |
| 3.2 数值模拟结果 | 第31-41页 |
| 3.2.1 组合激光可行性验证 | 第31-32页 |
| 3.2.2 毫秒激光能量变化对组合激光作用效果影响 | 第32-35页 |
| 3.2.3 激光光束半径变化对作用效果影响 | 第35-37页 |
| 3.2.4 组合激光中纳秒激光与毫秒激光能量等比例变化对组合激光作用效果影响 | 第37-40页 |
| 3.2.5 纳秒激光能量变化对组合激光作用效果影响 | 第40-41页 |
| 3.3 实验验证 | 第41-44页 |
| 3.3.1 实验装置和样品 | 第41-42页 |
| 3.3.2 实验结果与分析 | 第42-44页 |
| 3.4 本章小结 | 第44-45页 |
| 4 延时对组合激光作用效果影响 | 第45-54页 |
| 4.1 延时对作用效果的影响 | 第45-48页 |
| 4.2 激光能量对最佳延迟时间影响 | 第48-52页 |
| 4.2.1 不同毫秒激光能量对应的最佳延迟时间 | 第48-50页 |
| 4.2.2 改变纳秒激光能量对最佳延时的影响 | 第50-51页 |
| 4.2.3 组合激光中纳秒激光与毫秒激光能量等比例变化对最佳延时的影响 | 第51-52页 |
| 4.3 本章小结 | 第52-54页 |
| 5 总结与展望 | 第54-55页 |
| 5.1 总结 | 第54页 |
| 5.2 展望 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
