| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·扫描探针显微镜简介 | 第8-10页 |
| ·原位准同步检测材料微纳结构物化特性的方法简介 | 第10-14页 |
| ·基于AFM 的原位准同步获取材料物理和化学信息的方法 | 第10-12页 |
| ·基于SPM-MS 技术的原位准同步检测微纳结构物化特性的方法 | 第12-14页 |
| ·一种基于AFM-FAIMS 联用技术原位准同步检测材料微纳结构物理特性和化学成份的方法 | 第14-18页 |
| ·对基于SPM-MS 联用技术原位准同步检测材料物化特性方法的分析 | 第14-16页 |
| ·一种基于AFM-FAIMS 联用技术原位准同步检测材料物化特性的方法 | 第16-18页 |
| ·本论文的主要内容 | 第18-19页 |
| 第2章 电晕放电特性研究 | 第19-32页 |
| ·电晕放电现象 | 第19-21页 |
| ·电晕放电的机理 | 第21-23页 |
| ·电晕放电的阈值判据 | 第23-26页 |
| ·电晕放电的起始条件 | 第23-24页 |
| ·电晕放电的起始场强和起晕电压 | 第24-26页 |
| ·连续电晕放电的伏安特性 | 第26-28页 |
| ·毫米间距的电晕放电实验 | 第28-30页 |
| ·小结 | 第30-32页 |
| 第3章 AFM 探针力学和电学特性的分析与仿真 | 第32-48页 |
| ·AFM 探针简介 | 第32-35页 |
| ·低的力弹性系数(k) | 第34-35页 |
| ·高的共振频率(f) | 第35页 |
| ·有限元简介 | 第35-38页 |
| ·有限元方法简介 | 第35-37页 |
| ·ANSYS 简介 | 第37-38页 |
| ·AFM 探针力学和电学特性的ANSYS 分析 | 第38-47页 |
| ·AFM 探针的ANSYS 静力学分析和模态仿真 | 第38-44页 |
| ·AFM 导电探针的ANSYS 电场分析 | 第44-47页 |
| ·小结 | 第47-48页 |
| 第四章 微型放电结构的相关试验 | 第48-58页 |
| ·AFM 导电探针的电晕放电试验 | 第48-51页 |
| ·硅尖阵列试验 | 第51-55页 |
| ·硅尖阵列加工所使用的光刻板 | 第51-52页 |
| ·硅尖阵列加工的工艺原理与简易步骤 | 第52-53页 |
| ·所加工的硅尖阵列的SEM 照片 | 第53-55页 |
| ·一种新型AFM 探针结构的电场仿真 | 第55-57页 |
| ·小结 | 第57-58页 |
| 第五章 总结与展望 | 第58-60页 |
| ·总结 | 第58-59页 |
| ·展望 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第64页 |
