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ZnO异质结电致发光和光电探测器件研究

论文创新点第5-8页
摘要第8-10页
Abstract第10-12页
引言第13-14页
第一章 绪论第14-31页
    1.1 ZnO材料的基本性质第14-18页
        1.1.1 ZnO的物理性质第14-15页
        1.1.2 ZnO的晶体结构第15-16页
        1.1.3 ZnO的本征缺陷第16-17页
        1.1.4 ZnO的光电特性第17-18页
    1.2 ZnO的应用第18-24页
        1.2.1 透明导电薄膜第18-19页
        1.2.2 薄膜晶体管第19-20页
        1.2.3 纳米发电机第20-21页
        1.2.4 电致发光器件第21-22页
        1.2.5 光电探测器第22-24页
    1.3 ZnO材料常用的制备工艺简介第24-29页
        1.3.1 溶液水热法第24-25页
        1.3.2 射频磁控溅射第25-26页
        1.3.3 脉冲激光沉积第26-27页
        1.3.4 原子层沉积第27-29页
    1.4 本论文的研究内容及意义第29-31页
第二章 ZnO/GaN异质结多色电致发光器件第31-47页
    2.1 ZnO/GaN电致发光器件的研究现状第31-36页
    2.2 器件的制备第36-38页
        2.2.1 衬底的清洗第36页
        2.2.2 薄膜的生长第36-37页
        2.2.3 器件的封装第37-38页
    2.3 材料性能的测试与表征第38-40页
    2.4 器件多色电致发光的实现与分析第40-45页
    2.5 本章小结第45-47页
第三章 p-Si/n-ZnO异质结电致发光器件第47-61页
    3.1 p-Si/n-ZnO异质结的研究现状第47-50页
    3.2 p-Si/HfO_2/n-ZnO异质结的制备第50-52页
        3.2.1 衬底的清洗第50-51页
        3.2.2 薄膜的生长第51页
        3.2.3 器件的封装第51-52页
    3.3 器件的表征与分析第52-59页
    3.4 本章小结第59-61页
第四章 p-NiO/n-ZnO纳米线异质结电致发光器件第61-73页
    4.1 p-NiO/n-ZnO异质结电致发光器件的研究现状第61-63页
    4.2 p-NiO/n-ZnO纳米线电致发光器件的制备第63-66页
        4.2.1 p型NiO薄膜的制备第64-65页
        4.2.2 ZnO纳米线阵列的制备第65-66页
        4.2.3 电致发光器件的制备第66页
    4.3 电致发光器件的表征与分析第66-72页
    4.4 本章小结第72-73页
第五章 p-NiO/n-ZnO纳米线异质结光电探测器第73-90页
    5.1 p-NiO/n-ZnO异质结光电探测器的研究现状第73-79页
    5.2 p-NiO/n-ZnO纳米线核壳结构光电探测器的制备第79-80页
    5.3 p-NiO/n-ZnO@Al_2O_3光电探测器的表征与分析第80-89页
    5.4 本章小结第89-90页
第六章 总结与展望第90-93页
    6.1 总结第90-92页
    6.2 展望第92-93页
中外文参考文献第93-108页
攻博期间发表论文及申请专利第108-110页
致谢第110页

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