用于线宽测量的双探针原子力显微镜对准系统研究
| 致谢 | 第9-10页 |
| 摘要 | 第10-11页 |
| ABSTRACT | 第11-12页 |
| 第一章 绪论 | 第20-34页 |
| 1.1 纳米技术 | 第20页 |
| 1.2 纳米线宽测量 | 第20-32页 |
| 1.2.1 光学显微镜 | 第22-25页 |
| 1.2.2 计量型扫描电子显微镜 | 第25-26页 |
| 1.2.3 扫描探针显微镜 | 第26-32页 |
| 1.3 本课题的研究意义和主要研究内容 | 第32-34页 |
| 第二章 原子力显微镜 | 第34-49页 |
| 2.1 原子力显微镜的组成 | 第34页 |
| 2.2 近场力的检测 | 第34-38页 |
| 2.2.1 近场力 | 第35页 |
| 2.2.2 近场力检测方法 | 第35-38页 |
| 2.3 测量模式 | 第38-42页 |
| 2.3.1 静态测量 | 第38页 |
| 2.3.2 动态测量 | 第38-42页 |
| 2.4 动态AFM的调制模式 | 第42-46页 |
| 2.4.1 幅度调制模式 | 第42-44页 |
| 2.4.2 相位调制模式 | 第44-45页 |
| 2.4.3 频率调制模式 | 第45-46页 |
| 2.5 用于动态AFM的微悬臂 | 第46-48页 |
| 2.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 第三章 双探针原子力显微镜测头设计 | 第49-80页 |
| 3.1 单个探针测量线宽 | 第49-50页 |
| 3.2 双探针原子力显微镜测量原理 | 第50-51页 |
| 3.3 Akiyama探针 | 第51-55页 |
| 3.4 Akiyama探针的有限元分析 | 第55-59页 |
| 3.4.1 模态分析 | 第56-57页 |
| 3.4.2 运动轨迹 | 第57-59页 |
| 3.5 探针微电流提取 | 第59-62页 |
| 3.6 音叉探针信号的解调 | 第62-65页 |
| 3.7 原子力测头搭建 | 第65-68页 |
| 3.7.1 用于顶部测量的测头 | 第65-66页 |
| 3.7.2 用于CD测量的测头 | 第66-68页 |
| 3.8 测头的性能测试 | 第68-79页 |
| 3.8.1 顶端模式测头性能测试 | 第68-73页 |
| 3.8.2 CD模式测头性能测试 | 第73-79页 |
| 3.9 本章小结 | 第79-80页 |
| 第四章 双探针AFM针尖对准方案及装置设计 | 第80-99页 |
| 4.1 对准方案设计 | 第80-91页 |
| 4.1.1 视觉对准 | 第80-87页 |
| 4.1.2 近场力对准 | 第87-91页 |
| 4.2 对准系统设计 | 第91-93页 |
| 4.3 系统各组成部分 | 第93-97页 |
| 4.4 本章小结 | 第97-99页 |
| 第五章 对准系统性能测试 | 第99-123页 |
| 5.1 实验装置 | 第99页 |
| 5.2 实验环境 | 第99-100页 |
| 5.3 纳米位移台标定 | 第100-103页 |
| 5.4 扫描式测头噪声 | 第103-104页 |
| 5.5 视觉对准实验结果 | 第104-105页 |
| 5.6 近场力对针实验结果 | 第105-122页 |
| 5.6.1 阈值保护 | 第105-108页 |
| 5.6.2 测量结果 | 第108-122页 |
| 5.7 本章小结 | 第122-123页 |
| 第六章 总结与展望 | 第123-126页 |
| 6.1 工作总结 | 第123-124页 |
| 6.2 论文创新点 | 第124-125页 |
| 6.3 未来展望 | 第125-126页 |
| 参考文献 | 第126-135页 |
| 攻读博士学位期间的学术活动及成果情况 | 第135页 |
