| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 引言 | 第9-10页 |
| 1 等离子体应用与诊断 | 第10-24页 |
| 1.1 等离子体应用 | 第10页 |
| 1.2 等离子体诊断技术 | 第10-13页 |
| 1.3 Langumir 探针 | 第13-21页 |
| 1.3.1 单探针 | 第14-16页 |
| 1.3.2 双探针 | 第16-18页 |
| 1.3.3 三探针 | 第18-19页 |
| 1.3.4 发射探针 | 第19-20页 |
| 1.3.5 时间分辨诊断 | 第20-21页 |
| 1.4 实现高时间分辨诊断测量的等效采样方法 | 第21-22页 |
| 1.4.1 等效采样方法的原理 | 第21-22页 |
| 1.4.2 等效采样方法研究的进展 | 第22页 |
| 1.5 本论文的研究目的与主要工作 | 第22-24页 |
| 2 Langmuir探针时间分辨等离子体诊断 | 第24-32页 |
| 2.1 探针装置构成 | 第24页 |
| 2.2 工作原理 | 第24页 |
| 2.3 程序操作界面 | 第24-26页 |
| 2.4 实验与结果 | 第26-32页 |
| 2.4.1 脉冲调制射频放电等离子体参数的时间分辨诊断 | 第26-29页 |
| 2.4.2 负高压脉冲作用射频等离子体参数的时间分辨诊断 | 第29-32页 |
| 3 高时间分辨等效采样测量的实现 | 第32-51页 |
| 3.1 基于硬件电路延时的等效采样 | 第32-43页 |
| 3.1.1 电路与测试 | 第32-41页 |
| 3.1.2 测量实验与结果 | 第41-43页 |
| 3.2 程控操作数据采集卡实现高时间分辨等效采样 | 第43-45页 |
| 3.2.1 原理 | 第43-44页 |
| 3.2.2 测量实验与结果 | 第44-45页 |
| 3.3 两种方法时间分辨等效采样结果对比 | 第45-51页 |
| 4 基于等效采样的Langmuir探针高时间分辨等离子体诊断 | 第51-54页 |
| 4.1 脉冲调制射频放电等离子体参数的高时间分辨诊断 | 第51-52页 |
| 4.2 负高压脉冲作用射频等离子体参数的高时间分辨诊断 | 第52-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
