SMR-FBAR布拉格反射栅复合薄膜结构的制备及器件热性能研究
| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第10-22页 |
| 1.1. 课题背景及研究的目的和意义 | 第10-12页 |
| 1.2. 薄膜体声波谐振器的工作原理 | 第12-13页 |
| 1.3. 薄膜体声波谐振器技术国内外研究现状 | 第13-20页 |
| 1.4. 本文主要研究内容和相关工作 | 第20-22页 |
| 第2章 实验材料与实验方法 | 第22-29页 |
| 2.1. 引言 | 第22页 |
| 2.2. 薄膜材料的制备及其工作原理 | 第22-23页 |
| 2.3. 实验材料 | 第23页 |
| 2.4. 薄膜材料的制备 | 第23-27页 |
| 2.5. 薄膜材料结构和性能的表征方法 | 第27-28页 |
| 2.6. 本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 薄膜材料的结构和性能研究 | 第29-53页 |
| 3.1. 引言 | 第29页 |
| 3.2. 薄膜沉积速率 | 第29-31页 |
| 3.3. 薄膜表面形貌测试 | 第31-36页 |
| 3.4. 薄膜晶态结构测试 | 第36-43页 |
| 3.5. 硬度（H）与杨氏模量（E）测试 | 第43-48页 |
| 3.6. 薄膜密度测试 | 第48-52页 |
| 3.7. 本章小结 | 第52-53页 |
| 第4章 多层薄膜结构的制备和热稳定性能表征 | 第53-65页 |
| 4.1. 引言 | 第53页 |
| 4.2. 多层薄膜结构的制备 | 第53-54页 |
| 4.3. 多层薄膜结构表面形貌测试 | 第54-56页 |
| 4.4. 多层薄膜结构的热稳定性研究 | 第56-63页 |
| 4.5. 本章小结 | 第63-65页 |
| 第5章 体声波谐振器热性能有限元分析 | 第65-78页 |
| 5.1. 引言 | 第65页 |
| 5.2. 体声波谐振器模型的建立 | 第65-67页 |
| 5.3. 反射栅属性对FBAR稳态热性能的影响 | 第67-71页 |
| 5.4. 压电堆属性对FBAR热应力的影响 | 第71-76页 |
| 5.5. 本章小结 | 第76-78页 |
| 第6章 体声波谐振器瞬态热性能有限元分析 | 第78-87页 |
| 6.1. 引言 | 第78页 |
| 6.2. 射栅属性对FBAR瞬态热性能的影响 | 第78-81页 |
| 6.3. 压电堆属性对FBAR瞬态热性能的影响 | 第81-86页 |
| 6.4. 本章小结 | 第86-87页 |
| 结论 | 第87-89页 |
| 参考文献 | 第89-96页 |
| 致谢 | 第96页 |
