非接触式透镜中心厚度检测信号的数值融合与处理研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| 1.1 非接触测量技术的研究背景和意义 | 第9-10页 |
| 1.2 国内外研究的发展现状 | 第10-14页 |
| 1.3 论文的研究内容和研究目的 | 第14-16页 |
| 第二章检测系统的总体设计 | 第16-28页 |
| 2.1 检测方法的选取 | 第16-23页 |
| 2.1.1 激光三角法 | 第16-17页 |
| 2.1.2 激光扫描法 | 第17-18页 |
| 2.1.3 光学干涉法 | 第18-20页 |
| 2.1.4 超声波测厚法 | 第20-21页 |
| 2.1.5 平板电容检测法 | 第21-22页 |
| 2.1.6 光学共焦法 | 第22-23页 |
| 2.2 共焦法的测量原理和检测系统的构成 | 第23-26页 |
| 2.2.1 基于共焦法的单探头测量原理 | 第23-24页 |
| 2.2.2 基于共焦法的双探头测量原理 | 第24-26页 |
| 2.2.3 检测系统的组成结构 | 第26页 |
| 本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章共焦光学系统的设计 | 第28-36页 |
| 3.1 光源的选择 | 第28页 |
| 3.2 光谱仪的选择 | 第28-29页 |
| 3.3 共焦光学系统设计 | 第29-35页 |
| 3.3.1 初始结构的确定 | 第29-30页 |
| 3.3.2 光学系统的优化 | 第30-35页 |
| 本章小结 | 第35-36页 |
| 第四章测量装置厚度模型的建立 | 第36-45页 |
| 4.1 MATLAB软件的数学功能 | 第36页 |
| 4.2 厚度影响因素分析 | 第36-42页 |
| 4.2.1 透镜中心厚度和返回的波长差 | 第37-38页 |
| 4.2.2 透镜中心厚度和曲率半径 | 第38-40页 |
| 4.2.3 透镜中心厚度和透镜折射率 | 第40-42页 |
| 4.3 透镜中心厚度的厚度模型 | 第42-43页 |
| 本章小结 | 第43-45页 |
| 第五章 实验测试结果和误差分析 | 第45-55页 |
| 5.1 实验测试结果 | 第45-48页 |
| 5.2 误差来源分析 | 第48-54页 |
| 5.2.1 常规误差分析 | 第48页 |
| 5.2.2 单探头装置测量误差分析 | 第48-52页 |
| 5.2.3 双探头装置测量误差分析 | 第52-54页 |
| 本章小结 | 第54-55页 |
| 第六章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 6.1 本文的主要研究工作 | 第55页 |
| 6.2 研究工作的创新点 | 第55-56页 |
| 6.3 对今后工作的展望 | 第56-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 参考文献 | 第58-62页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文与发明专利 | 第62页 |
