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金属氧化物掺杂ZnFe2O4薄膜光波导元件的制备及气敏性研究

摘要第2-4页
Abstract第4-6页
第一章 绪论第10-22页
    1.1 大气及大气污染第10页
    1.2 大气污染的危害第10-12页
        1.2.1 SO_2和NO_x以及其危害性第11页
        1.2.2 可吸入颗粒物特点及危害性第11-12页
    1.3 室内空气污染及危害第12-14页
    1.4 传感器的发展历史第14-15页
    1.5 生物传感器第15页
    1.6 化学传感器第15-16页
    1.7 气体传感器以及发展趋势第16-17页
    1.8 光波导化学传感器以及它的分类和原理第17-20页
    1.9 半导体气敏材料第20页
    1.10 课题来源与论文工作第20-22页
第二章 V_2O_5掺杂ZnFe_2O_4光波导元件的制备及气敏性研究第22-40页
    2.1 引言第22-23页
    2.2 实验部分第23-26页
        2.2.1 试剂和仪器第23-24页
        2.2.2 复合薄膜的制备第24-25页
        2.2.3 挥发性有机气体的制备第25页
        2.2.4 光波导检测系统第25-26页
    2.3 结果与讨论第26-39页
        2.3.1 透光率变化分析第26-27页
        2.3.2 V_2O_5-ZnFe_2O_4复合薄膜粉末的表征第27-28页
            2.3.2.1 X-射线分析第27页
            2.3.2.2 电子能谱图分析第27-28页
        2.3.3 最佳条件的选择第28-35页
            2.3.3.1 百分含量的选择第28-30页
            2.3.3.2 热处理温度的选择第30-32页
            2.3.3.3 提拉速度的选择第32-33页
            2.3.3.4 热处理时间的选择第33-35页
        2.3.4 敏感元件对二甲苯、苯乙烯及氯苯气体的响应第35-39页
            2.3.4.1 敏感元件对二甲苯气体的响应第35-36页
            2.3.4.2 敏感元件对苯乙烯气体的响应第36-37页
            2.3.4.3 敏感元件对氯苯气体的响应第37-39页
    2.4 小结第39-40页
第三章 Fe_2O_3及Fe_2O_3掺杂ZnFe_2O_4光波导元件的制备及气敏性研究第40-62页
    3.1 Fe_2O_3光波导元件的制备及气敏性研究第40-51页
        3.1.1 引言第40页
        3.1.2 实验部分第40-42页
            3.1.2.1 试剂和仪器第40-41页
            3.1.2.2 Fe_2O_3薄膜的制备第41-42页
            3.1.2.3 挥发性有机气体的制备第42页
        3.1.3 结果与讨论第42-51页
            3.1.3.1 透光率变化分析第42-43页
            3.1.3.2 Fe_2O_3薄膜粉末的表征第43-44页
                3.1.3.2.1 X-射线分析第43页
                3.1.3.2.2 电子能谱图分析第43-44页
            3.1.3.3 最佳条件的选择第44-48页
                3.1.3.3.1 提拉速度的选择第44-45页
                3.1.3.3.2 热处理温度的选择第45-47页
                3.1.3.3.3 热处理时间的选择第47-48页
            3.1.3.4 敏感元件对二甲苯、苯乙烯气体的响应第48-51页
                3.1.3.4.1 敏感元件对苯乙烯气体的响应第48-49页
                3.1.3.4.2 敏感元件对二甲苯气体的响应第49-51页
    3.2 Fe_2O_3掺杂ZnFe_2O_4光波导元件的制备及气敏性研究第51-62页
        3.2.1 实验部分第51页
            3.2.1.1 试剂和仪器第51页
            3.2.1.2 Fe_2O_3-ZnFe_2O_4薄膜的制备第51页
        3.2.2 结果与讨论第51-60页
            3.2.2.1 透光率变化分析第51-52页
            3.2.2.2 Fe_2O_3-ZnFe_2O_4复合薄膜粉末的表征第52-53页
                3.2.2.2.1 X-射线分析第52-53页
                3.2.2.2.2 电子能谱图分析第53页
            3.2.2.3 最佳条件的选择第53-58页
                3.2.2.3.1 百分含量的选择第53-54页
                3.2.2.3.2 提拉速度的选择第54-56页
                3.2.2.3.3 热处理温度的选择第56-58页
                3.2.2.3.4 热处理时间的选择第58页
            3.2.2.4 敏感元件对氯苯、二甲苯气体的响应第58-60页
                3.2.2.4.1 敏感元件对氯苯气体的响应第58-60页
                3.2.2.4.2 敏感元件对二甲苯气体的响应第60页
        3.2.3 小结第60-62页
第四章 结论第62-64页
参考文献第64-70页
硕士研究生期间论文发表情况第70-71页
致谢第71-73页

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