无源无线声表面波温度传感器的设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 致谢 | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-15页 |
| ·声表面波技术的发展 | 第10-11页 |
| ·声表面波传感器的发展 | 第11-12页 |
| ·无源无线声表面波温度传感器的国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·课题研究意义 | 第13-14页 |
| ·课题研究内容 | 第14-15页 |
| 第2章 无源无线声表面波温度传感器简介 | 第15-19页 |
| ·引言 | 第15页 |
| ·无源无线延迟线型SAW温度传感器 | 第15-16页 |
| ·无源无线延迟线型SAW温度传感器的原理 | 第15-16页 |
| ·无源无线延迟线型SAW温度传感器的特点 | 第16页 |
| ·无源无线谐振型SAW温度传感器 | 第16-19页 |
| ·无源无线谐振型SAW温度传感器的原理 | 第17-18页 |
| ·无源无线谐振型SAW温度传感器的特点 | 第18-19页 |
| 第3章 谐振型SAW温度传感器的设计 | 第19-32页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·谐振型SAW温度传感器压电材料的研究 | 第19-25页 |
| ·声表面波速度(V) | 第20-24页 |
| ·频率温度系数(TCF) | 第24-25页 |
| ·机电耦合系数(K~2) | 第25页 |
| ·叉指换能器的设计 | 第25-27页 |
| ·叉指换能器的原理 | 第26页 |
| ·叉指换能器参数的设计 | 第26-27页 |
| ·反射栅的设计 | 第27-30页 |
| ·反射栅的原理 | 第27-28页 |
| ·反射栅参数的设计 | 第28-29页 |
| ·反射栅与叉指换能器之间距离的设计 | 第29-30页 |
| ·谐振型SAW温度传感器版图设计 | 第30-32页 |
| ·谐振型SAW温度传感器的设计参数 | 第30-31页 |
| ·Tanner Tool Pro版图设计 | 第31-32页 |
| 第4章 SAW温度传感器的制作 | 第32-39页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·SAW温度传感器的制作流程 | 第32-33页 |
| ·镀膜技术 | 第33-34页 |
| ·光刻技术 | 第34-37页 |
| ·掩膜 | 第34-35页 |
| ·光刻胶 | 第35页 |
| ·曝光和显影 | 第35-36页 |
| ·蚀刻 | 第36-37页 |
| ·去胶 | 第37页 |
| ·温度传感器封装技术 | 第37-39页 |
| ·传感器陶瓷SMD封装结构 | 第38页 |
| ·陶瓷SMD封装步骤 | 第38-39页 |
| 第5章 无源无线SAW温度传感器接口电路设计 | 第39-47页 |
| ·引言 | 第39页 |
| ·无源无线SAW温度传感器检测原理 | 第39页 |
| ·源无线SAW温度传感器 | 第39-47页 |
| ·谐振型SAW传感器的电学模型 | 第40-42页 |
| ·天线 | 第42-43页 |
| ·阻抗匹配网络 | 第43-47页 |
| ·阻抗匹配网络的结构 | 第43-44页 |
| ·匹配网络的设计方式 | 第44-45页 |
| ·匹配网路设计步骤 | 第45-47页 |
| 第6章 无源无线SAW温度传感器谐振器性能研究 | 第47-58页 |
| ·引言 | 第47页 |
| ·传感器S参数简介 | 第47-53页 |
| ·网络分析仪 | 第47-48页 |
| ·网络的S参数 | 第48-49页 |
| ·SAW谐振器S_(21)参数的测量 | 第49-51页 |
| ·S_(21)参数的测试步骤 | 第49-50页 |
| ·S_(21)参数测试结果与分析 | 第50-51页 |
| ·SAW谐振器S_(11)参数的测量 | 第51-53页 |
| ·S_(11)参数的测试步骤 | 第52页 |
| ·S_(11)参数测试结果与分析 | 第52-53页 |
| ·SAW谐振器回波信号的研究 | 第53-58页 |
| ·NI虚拟仪器硬件测试平台 | 第53-54页 |
| ·LabView软件设计 | 第54-56页 |
| ·回波信号的研究 | 第56-58页 |
| 第7章 无源无线SAW温度传感器温度特性研究 | 第58-64页 |
| ·引言 | 第58页 |
| ·传感器温度特性测试硬件平台 | 第58页 |
| ·SAW传感器温度灵敏度研究 | 第58-61页 |
| ·LabView软件设计 | 第59页 |
| ·传感器温度测试结果与分析 | 第59-61页 |
| ·SAW传感器温度测量精确度与距离测试 | 第61-64页 |
| ·LabView软件设计 | 第62-63页 |
| ·温度测量精确度与距离测试结果 | 第63-64页 |
| 第8章 总结与展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 作者在硕士期间所取得的科研成果 | 第68页 |
