微型静电成像系统设计与仿真
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·本论文研究的背景和意义 | 第9-11页 |
| ·成像探测技术 | 第9-10页 |
| ·静电成像探测技术的优势 | 第10-11页 |
| ·MEMS 技术的研究与应用 | 第11页 |
| ·国内外研究现状及发展趋势 | 第11-17页 |
| ·静电成像探测技术的国内外发展 | 第11-13页 |
| ·MEMS 电场传感器的国内外发展 | 第13-17页 |
| ·论文主要研究内容及结构安排 | 第17-18页 |
| 第2章 目标荷电特性及分布模型研究 | 第18-27页 |
| ·目标的起电机理及荷电特性分析 | 第18-19页 |
| ·目标静电场分布建模与仿真 | 第19-24页 |
| ·电场叠加效应分析 | 第24-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 静电成像 MEMS 传感器设计 | 第27-47页 |
| ·微型静电成像系统总体设计 | 第27-28页 |
| ·传感器工作原理设计 | 第28-30页 |
| ·传感器设计方案 | 第30-34页 |
| ·驱动方式选择 | 第30页 |
| ·屏蔽电极振动方案设计 | 第30-33页 |
| ·高性能调理电路设计 | 第33-34页 |
| ·传感器性能仿真分析 | 第34-46页 |
| ·方向性仿真分析 | 第34-37页 |
| ·屏蔽电极振动方案选取 | 第37-42页 |
| ·性能指标分析 | 第42-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第4章 静电成像阵列设计 | 第47-57页 |
| ·静电成像原理 | 第47-48页 |
| ·阵列设计与仿真 | 第48-54页 |
| ·布设方式的选取 | 第48页 |
| ·静电成像仿真分析 | 第48-50页 |
| ·静电成像仿真结果 | 第50-54页 |
| ·成像分辨率 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-57页 |
| 第5章 微型静电成像图像处理方法研究 | 第57-67页 |
| ·系统构成及工作原理 | 第57-59页 |
| ·图像处理方法选取 | 第59-61页 |
| ·图像优化的应用 | 第61-66页 |
| ·图像去噪 | 第61-64页 |
| ·图像增强 | 第64页 |
| ·图像处理 | 第64-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 结论 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-72页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73页 |
