LTCC微机械差分电容式加速度计关键技术研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第1章 引言 | 第10-18页 |
| ·研究背景 | 第10-12页 |
| ·微加速度计的发展与研究现状 | 第12-16页 |
| ·加速度计国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·LTCC微加速度计的研究现状 | 第13-16页 |
| ·研究内容及意义 | 第16页 |
| ·论文组织架构 | 第16-18页 |
| 第2章 加速度计原理与结构分析 | 第18-31页 |
| ·典型加速度计类型分析 | 第18-21页 |
| ·压阻式加速度计 | 第18-19页 |
| ·压电式加速度计 | 第19页 |
| ·隧道式加速度计 | 第19-20页 |
| ·电容式加速度计 | 第20-21页 |
| ·电容式加速度计的数学模型 | 第21-22页 |
| ·差分电容式加速度计的电学特性 | 第22-23页 |
| ·加速度计的弹性梁结构分析 | 第23-26页 |
| ·典型的弹性梁结构对比与分析 | 第23-24页 |
| ·弹性梁的力学分析 | 第24-26页 |
| ·电容式加速度计的检测电路分析 | 第26-30页 |
| ·开关电容式 | 第26-27页 |
| ·调制解调式 | 第27-28页 |
| ·调频谐振式 | 第28-29页 |
| ·电桥式 | 第29-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 结构设计与仿真分析 | 第31-45页 |
| ·L型梁加速度计结构设计 | 第31-33页 |
| ·结构分析 | 第31-33页 |
| ·L型梁加速度计的仿真分析 | 第33-39页 |
| ·有限元分析方法简介 | 第33-34页 |
| ·结构的静态分析 | 第34-36页 |
| ·结构的模态分析 | 第36-38页 |
| ·结构的谐响应分析 | 第38-39页 |
| ·蛇型梁加速度计的结构设计与仿真分析 | 第39-42页 |
| ·结构的静态分析 | 第40-41页 |
| ·结构的模态分析 | 第41-42页 |
| ·Z型梁加速度计的结构设计与仿真分析 | 第42-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 第4章 LTCC工艺与加速度计制作 | 第45-53页 |
| ·LTCC工艺流程 | 第45-46页 |
| ·LTCC埋置型空腔的制作 | 第46-47页 |
| ·LTCC差分电容式加速度计的制作 | 第47-52页 |
| ·冲孔与通孔填充 | 第47-49页 |
| ·层压 | 第49-50页 |
| ·烧结 | 第50-51页 |
| ·合体 | 第51-52页 |
| ·检验 | 第52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第5章 加速度计信号检测与性能分析 | 第53-70页 |
| ·基于MS3110芯片的电容信号检测电路设计 | 第53-60页 |
| ·MS3110简介 | 第53-54页 |
| ·MS3110检测原理 | 第54-55页 |
| ·以MS3110为核心的检测电路搭建 | 第55-57页 |
| ·软件模块 | 第57-59页 |
| ·验证芯片及加速度计可正常工作的方法 | 第59-60页 |
| ·静态性能测试与分析 | 第60-67页 |
| ·性能指标 | 第60-61页 |
| ·重力场静态翻滚试验与结果分析 | 第61-63页 |
| ·误差分析与改进 | 第63-64页 |
| ·静态试验和结果分析 | 第64-65页 |
| ·动态试验与结果分析 | 第65-67页 |
| ·地面环境试验与分析 | 第67-69页 |
| ·高温贮存试验 | 第67-68页 |
| ·低温贮存试验 | 第68-69页 |
| ·温度循环试验 | 第69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 第6章 总结与展望 | 第70-72页 |
| ·工作总结 | 第70页 |
| ·工作中的不足与下一步的展望 | 第70-72页 |
| 致谢 | 第72-73页 |
| 参考文献 | 第73-75页 |
| 个人简历 在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第75页 |
