| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-19页 |
| ·课题研究的目的及意义 | 第10-12页 |
| ·金刚石刀具磨损的研究现状 | 第12-18页 |
| ·金刚石刀具磨损的国内外研究现状 | 第12-15页 |
| ·金刚石刀具磨损碳化硅生成的研究 | 第15-17页 |
| ·单晶硅相变的研究 | 第17-18页 |
| ·论文主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 单晶硅单向压缩分子动力学模型建立 | 第19-34页 |
| ·单晶硅与金刚石晶体结构及性能 | 第19-22页 |
| ·单晶硅晶体结构及特性 | 第19-21页 |
| ·金刚石晶体结构及性能 | 第21-22页 |
| ·分子动力学仿真方法 | 第22-27页 |
| ·分子动力学仿真背景及基本原理 | 第22-23页 |
| ·分子动力学经典运动方程 | 第23-25页 |
| ·分子动力学边界条件选取 | 第25-26页 |
| ·分子动力学仿真系统系综的选择 | 第26-27页 |
| ·单晶硅单向压缩分子动力学模型建立 | 第27-33页 |
| ·仿真流程设计 | 第27-28页 |
| ·势函数选取及原子间作用力 | 第28-30页 |
| ·原子位置积分运算及时间步长选择 | 第30-31页 |
| ·分子动力学仿真条件的设定 | 第31-33页 |
| ·分子动力学仿真的可视化 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 单晶硅相变对温度变化的影响分析 | 第34-48页 |
| ·单晶硅相变理论基础 | 第34-35页 |
| ·单晶硅纳米加工过程中相变研究 | 第35-40页 |
| ·径向分布函数 | 第36-38页 |
| ·配位数 | 第38-40页 |
| ·单晶硅相变能量—温度关系分析 | 第40-47页 |
| ·温度分析 | 第41-43页 |
| ·单晶硅相变对温度的影响 | 第43-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 硬质粒子生成机理的研究 | 第48-63页 |
| ·单晶硅纳米切削分子动力学模型建立及仿真条件的设定 | 第48-50页 |
| ·硬质粒子的生成机理 | 第50-59页 |
| ·切削区域应力及工件相变分析 | 第51-53页 |
| ·切削温度分析 | 第53-57页 |
| ·刀具及工件晶格结构变化 | 第57-59页 |
| ·硬质粒子生成分析 | 第59-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 结论 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 攻读硕士学位期间承担的科研任务与主要成果 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 作者简介 | 第71页 |