用于十二通道并行光发射模块的VCSEL制备工艺研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-8页
第一章 绪论	第8-18页
·光纤通信	第8-9页
·甚短距离传输	第9-10页
·单路光收发模块	第10-14页
·多路并行光收发射组件	第14-16页
·通信用VCSEL	第16-18页
第二章 并行光发射组件所用VCSEL的制备	第18-30页
·发射组件用VCSEL阵列设计	第18-19页
·VCSEL阵列制备	第19-28页
·器件性能测试	第28-29页
·本章小结	第29-30页
第三章 VCSEL的制备工艺中刻蚀工艺的研究	第30-48页
·刻蚀工艺	第30-33页
·刻蚀中的表征参数	第33-36页
·两步法湿法刻蚀	第36-41页
·表面粗糙度对比实验	第41-43页
·GAAS微透镜的制备	第43-47页
·本章小结	第47-48页
第四章 十二通道并行光发射组件的研制	第48-52页
·十二通道并行光发射组件整体设计	第48-49页
·控制电路部分的设计	第49页
·发射组件的参数	第49-50页
·光发射组件的性能测试及分析	第50-51页
·本章小结	第51-52页
第五章 结论与展望	第52-53页
致谢	第53-54页
参考文献	第54-56页
攻读硕士学位期间取得学术成果	第56页