基于ZnO薄膜的电声特性研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-11页
·论文研究背景	第8页
·ZnO 薄膜的应用及国内外研究现状	第8-10页
·论文研究内容及结构	第10-11页
2 ZnO 薄膜压电特性	第11-21页
·压电效应与压电方程	第11-12页
·ZnO 材料分析	第12-16页
·ZnO 沉积于晶体上的声光特性分析	第16-20页
·本章小结	第20-21页
3 ZnO 薄膜的有限元分析	第21-34页
·ZnO 薄膜的压电方程简化	第21-22页
·利用有限元对 ZnO 薄膜进行分析	第22-27页
·ZnO 薄膜的参数求解	第27-30页
·有限元的模拟分析	第30-33页
·本章小结	第33-34页
4 ZnO 薄膜的形成和电声特性测试	第34-48页
·镀膜结构及参数设计	第34-36页
·ZnO 的镀膜实现	第36-40页
·ZnO 薄膜的测试	第40-46页
·本章小结	第46-48页
5 ZnO 沉积于晶体上的声光特性研究	第48-59页
·声光特性参数	第48-50页
·声光作用测试	第50-58页
·本章小结	第58-59页
6 论文总结	第59-61页
致谢	第61-62页
参考文献	第62-64页