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BST掺杂改性的研究及其薄膜制备

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 绪论第9-21页
   ·课题研究背景第9-11页
   ·Ba_xSr_(1-x)TiO_3 材料概述第11-16页
   ·BST 材料的掺杂改性机理及其研究思路第16-19页
   ·本论文主要研究工作第19-21页
2 实验制备工艺及样品测试方法第21-33页
   ·固相反应烧结工艺原理第21-26页
   ·磁控溅射工艺介绍第26-29页
   ·BST 样品的微观结构测试第29-30页
   ·BST 样品的电性能测试方法第30-32页
   ·本章小结第32-33页
3 La_2O_3 掺杂Ba_(0.4)Sr_(0.6)TiO_3第33-46页
   ·La_2O_3 掺杂Ba_(0.4)Sr_(0.6)TiO_3/MgO 复合陶瓷样品密度测试结果第33-34页
   ·La_2O_3 掺杂Ba_(0.4)Sr_(0.6)TiO_3/MgO 复合陶瓷样品微观结构性能第34-43页
   ·La_2O_3 掺杂Ba_(0.4)Sr_(0.6)TiO_3/MgO 复合陶瓷样品介电性能第43-45页
   ·本章小结第45-46页
4 La_2O_3 掺杂Ba_(0.55)Sr_(0.45)TiO_3第46-56页
   ·BST/Mg_2TiO_4 与BST/MgO 复合陶瓷材料性能的比较第46-49页
   ·La_2O_3 掺杂Ba_(0.55)Sr_(0.45)TiO_3/Mg_2TiO_4 复合陶瓷微观结构性能第49-53页
   ·La_2O_3 掺杂Ba_(0.55)Sr_(0.45)TiO_3/Mg_2TiO_4 复合陶瓷电性能测试第53-54页
   ·本章小结第54-56页
5 La_2O_3 掺杂Ba_(0.4)Sr_(0.6)TiO_3第56-63页
   ·靶材、衬底及溅射工艺参数第56页
   ·La_2O_3 掺杂BST/MgO 薄膜微观结构性能测试结果第56-59页
   ·电性能测试结果第59-62页
   ·本章小结第62-63页
6 总结与展望第63-65页
   ·本文总结第63-64页
   ·展望第64-65页
致谢第65-67页
参考文献第67-72页
附录 攻读硕士学位期间发表的论文第72页

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