射频等离子体中尘埃空洞演化研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
引言	第9-10页
1 绪论	第10-23页
·等离子体概述	第10-11页
·等离子体的分类	第11-12页
·尘埃等离子体	第12-21页
·尘埃等离子体性质	第15-16页
·尘埃云斑图	第16-17页
·尘埃等离子体相关研究手段	第17-19页
·尘埃颗粒对工业加工的影响	第19-21页
·本文的主要研究内容	第21-23页
2 实验装置和方法	第23-28页
·实验仪器	第23-25页
·实验方法	第25-28页
·产生尘埃颗粒	第25-26页
·设计实验调节参数	第26-28页
3 实验现象与讨论	第28-45页
·尘埃云及尘埃空洞的形态变化	第28-34页
·尘埃云体积的实验研究	第29-31页
·尘埃云及空洞的直径变化	第31-32页
·尘埃空洞的深度变化	第32-34页
·尘埃空洞震荡研究	第34-39页
·尘埃空洞随时间的变化规律	第34-37页
·尘埃空洞震荡周期随功率变化	第37-39页
·尘埃颗粒运动轨迹	第39-42页
·实验讨论及推断	第42-45页
·尘埃空洞演化原因	第42-44页
·尘埃空洞演化随功率与时间的讨论	第44-45页
4 实验总结与展望	第45-46页
结论	第46-47页
参考文献	第47-50页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第50-51页
致谢	第51-52页