AIN薄膜体声波质量传感器的研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-8页
目录	第8-10页
第一章 绪论	第10-15页
·FBAR质量传感器国内外研究现状	第11-13页
·适用于FBAR压电材料的选择	第13-14页
·论文的研究目的、主要内容和结构安排	第14-15页
第二章 FBAR传感器的结构和工作原理	第15-21页
·薄膜体声波谐振器理论基础	第15-17页
·压电效应	第15-16页
·压电薄膜的振动模式	第16-17页
·FBAR传感器基本工作原理	第17-18页
·FBAR传感器的结构	第18-20页
·本章小结	第20-21页
第三章 FBAR中AlN压电薄膜的制备和表征	第21-33页
·薄膜制备技术	第21-22页
·AlN薄膜的表征方法	第22-24页
·C轴择优取向AlN薄膜的制备	第24-27页
·C轴倾斜AlN薄膜的制备与表征	第27-32页
·C轴倾斜AlN薄膜的制备方法	第27-28页
·两步气压法制备C轴倾斜AlN薄膜及其表征	第28-30页
·C轴倾斜AlN薄膜的TEM分析	第30-32页
·本章小结	第32-33页
第四章 FBAR传感器的制备工艺与性能分析	第33-46页
·SMR型谐振器制备工艺	第33-39页
·布拉格声反射层的原理	第33-35页
·布拉格声反射层的制备与表征	第35-38页
·SMR型FBAR谐振器制备工艺流程	第38-39页
·FBAR质量传感器性能分析	第39-45页
·FBAR传感器测试单元	第39-40页
·以Pt为底电极的SMR型传感器的频率特性	第40-43页
·以Mo为底电极的SMR型传感器的频率特性	第43-45页
·本章小结	第45-46页
第五章 总结与展望	第46-48页
·论文工作总结	第46-47页
·论文的不足之处和下一步工作展望	第47-48页
参考文献	第48-53页
附录 研究生期间发表的学术论文	第53-54页
致谢	第54页