CVD法制备高硅钢的工艺过程研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-9页
第1章 绪论	第9-26页
·课题背景	第9-11页
·硅钢研究的现状	第11-14页
·6.5%Si高硅钢的性能	第14-16页
·物理性质	第14页
·磁特性	第14-15页
·6.5%Si高硅钢的应用	第15-16页
·现阶段制备高硅钢的工艺方法	第16-25页
·冷轧轧制法	第16页
·特殊轧制法	第16-18页
·快速凝固法	第18-20页
·粉末轧制法	第20-21页
·沉积扩散法	第21-25页
·包埋渗硅法	第25页
·本文研究内容	第25-26页
第2章 CVD技术及其制备高硅钢过程动力学分析	第26-30页
·CVD技术	第26-27页
·CVD法制备6.5%Si高硅钢动力学过程分析	第27-29页
·本章小结	第29-30页
第3章 CVD法制备高硅钢实验装置的设计	第30-45页
·设计CVD法制备高硅钢实验装置的基本要求	第30页
·CVD法制备高硅钢实验装置的设计	第30-44页
·载气纯化区设计	第30-33页
·气体发生区设计	第33-35页
·CVD区设计	第35-42页
·尾气处理区设计	第42-44页
·本章小结	第44-45页
第4章 CVD法制备高硅钢实验过程及结果	第45-64页
·实验过程	第45-49页
·实验基材的选择	第45-46页
·实验前预处理	第46-48页
·实验内容及方法	第48-49页
·实验结果及分析	第49-63页
·试样放置方式对板材质量的影响	第49-52页
·气氛中氧含量的影响	第52-57页
·温度对CVD渗硅速率的影响	第57-58页
·温度对试样减重速率的影响	第58-59页
·试样形貌及磁性能测试分析	第59-63页
·本章小结	第63-64页
第5章 结论与展望	第64-66页
·结论	第64页
·展望	第64-66页
参考文献	第66-69页
致谢	第69页