| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-12页 |
| 第一章 绪论 | 第12-21页 |
| ·引言 | 第12页 |
| ·拉丝模结构及材质 | 第12-15页 |
| ·拉丝模孔型 | 第12-14页 |
| ·拉丝模材料 | 第14-15页 |
| ·金刚石涂层及其在拉丝模领域中的应用 | 第15-19页 |
| ·CVD 金刚石薄膜的特性及其应用 | 第15-17页 |
| ·金刚石薄膜制备技术简介 | 第17-18页 |
| ·CVD 金刚石涂层拉丝模的研究现状 | 第18-19页 |
| ·本课题的研究意义和研究内容 | 第19-21页 |
| 第二章 拉丝模内孔金刚石沉积系统的衬底温度场数值分析 | 第21-32页 |
| ·引言 | 第21页 |
| ·HFCVD 系统中的热辐射计算及在 ANSYS 中的实现 | 第21-25页 |
| ·热辐射理论简介 | 第21-22页 |
| ·基于平面衬底的 HFCVD 系统的热辐射计算方法 | 第22-24页 |
| ·HFCVD 系统热辐射分析在 ANSYS 中的实现 | 第24-25页 |
| ·拉丝模温度场分析的有限元模型 | 第25-26页 |
| ·拉丝模温度场有限元仿真结果与分析 | 第26-31页 |
| ·圆柱阵列热丝排列方式下拉丝模温度场 | 第26-28页 |
| ·单根热丝穿孔方式下拉丝模温度场 | 第28-29页 |
| ·平面阵列热丝排列方式下拉丝模温度场 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第三章 拉丝模内壁金刚石沉积过程中衬底附近流场有限元分析 | 第32-44页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·HFCVD 系统流场传热模拟计算基础 | 第32-34页 |
| ·牛顿放热定律 | 第32页 |
| ·流体力学方程组 | 第32-33页 |
| ·相似理论和相似准数 | 第33-34页 |
| ·拉丝模金刚石涂层制备的气相空间场有限元模型 | 第34-37页 |
| ·问题区域的确定 | 第34页 |
| ·流体状态的确定 | 第34-35页 |
| ·单元选择及网格划分 | 第35-37页 |
| ·边界条件及求解参数设置 | 第37页 |
| ·结果分析与讨论 | 第37-42页 |
| ·拉丝模竖置时衬底附近流场 | 第37-39页 |
| ·拉丝模横置时衬底附近流场 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-44页 |
| 第四章 拉丝模内壁金刚石涂层的制备 | 第44-55页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·金刚石涂层的制备 | 第44-48页 |
| ·沉积设备及其原理 | 第44-45页 |
| ·衬底预处理方法 | 第45-48页 |
| ·实验方案与参数 | 第48页 |
| ·实验结果与讨论 | 第48-54页 |
| ·金刚石涂层成分 | 第48-50页 |
| ·金刚石涂层的表面形貌 | 第50-52页 |
| ·涂层与基体断面形貌 | 第52-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 金刚石涂层拉丝模的抛光及拉拔试验 | 第55-64页 |
| ·引言 | 第55页 |
| ·超声波研磨抛光技术简介 | 第55-57页 |
| ·超声波研磨抛光的原理 | 第55-56页 |
| ·超声波研磨抛光的影响因素 | 第56-57页 |
| ·拉丝模金刚石涂层的抛光 | 第57-59页 |
| ·金刚石涂层抛光设备 | 第57页 |
| ·涂层抛光结果与分析 | 第57-59页 |
| ·拉丝试验 | 第59-62页 |
| ·拉丝工艺流程 | 第59-60页 |
| ·拉丝试验结果与分析 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第六章 总结与展望 | 第64-66页 |
| ·总结 | 第64-65页 |
| ·展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第72页 |
