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基于PVD过渡层的金刚石刀具涂层制备及其结合性能研究

摘要第1-5页
Abstract第5-13页
第一章 绪论第13-23页
   ·引言第13页
   ·CVD 金刚石刀具的应用现状第13-16页
     ·CVD 金刚石厚膜焊接刀具的应用第14-15页
     ·CVD 金刚石涂层刀具的应用第15-16页
   ·CVD 金刚石涂层刀具的预处理现状第16-21页
     ·除钴工艺第16-19页
     ·中间过渡层第19-21页
     ·机械法预处理第21页
   ·研究意义与主要内容第21-23页
第二章 置换法制备铜层工艺第23-30页
   ·引言第23页
   ·硫酸铜预处理第23-25页
     ·优选硫酸铜溶液第23-24页
     ·优化预处理工艺第24-25页
   ·金刚石膜的制备与分析第25-29页
     ·实验参数第25页
     ·金刚石形核分析第25-26页
     ·金刚石膜分析第26-29页
   ·本章小结第29-30页
第三章 PVD 过渡层的制备工艺第30-43页
   ·引言第30页
   ·直流磁控溅射原理与设备第30-33页
     ·直流磁控溅射原理第30-32页
     ·直流磁控溅射设备第32-33页
   ·溅射工艺对溅射速率的影响第33-37页
     ·溅射功率对溅射速率的影响第33-35页
     ·靶基距离对溅射速率的影响第35-36页
     ·工作气压对溅射速率的影响第36-37页
   ·溅射工艺和表面粗糙度对结合性能的影响第37-41页
     ·工作气压对结合性能的影响第38-40页
     ·衬底温度对结合性能的影响第40页
     ·表面粗糙度对结合性能的影响第40-41页
   ·本章小结第41-43页
第四章 基于 PVD 过渡层的金刚石涂层制备第43-61页
   ·引言第43页
   ·实验设备与参数第43-44页
   ·实验结果与讨论第44-60页
     ·金刚石形核分析第44-47页
     ·金刚石膜生长分析第47-58页
     ·各种过渡层的综合比较第58-60页
   ·本章小结第60-61页
第五章 膜基结合性能评价第61-68页
   ·引言第61页
   ·实验方法与设备第61-62页
     ·压痕法第61-62页
     ·实验设备第62页
   ·PVD 过渡层的金刚石涂层结合性能分析第62-67页
   ·本章小结第67-68页
第六章 总结与展望第68-70页
   ·总结第68-69页
   ·展望第69-70页
参考文献第70-76页
致谢第76-77页
在学期间的研究成果及发表的学术论文第77页

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