基于PVD过渡层的金刚石刀具涂层制备及其结合性能研究
摘要 | 第1-5页 |
Abstract | 第5-13页 |
第一章 绪论 | 第13-23页 |
·引言 | 第13页 |
·CVD 金刚石刀具的应用现状 | 第13-16页 |
·CVD 金刚石厚膜焊接刀具的应用 | 第14-15页 |
·CVD 金刚石涂层刀具的应用 | 第15-16页 |
·CVD 金刚石涂层刀具的预处理现状 | 第16-21页 |
·除钴工艺 | 第16-19页 |
·中间过渡层 | 第19-21页 |
·机械法预处理 | 第21页 |
·研究意义与主要内容 | 第21-23页 |
第二章 置换法制备铜层工艺 | 第23-30页 |
·引言 | 第23页 |
·硫酸铜预处理 | 第23-25页 |
·优选硫酸铜溶液 | 第23-24页 |
·优化预处理工艺 | 第24-25页 |
·金刚石膜的制备与分析 | 第25-29页 |
·实验参数 | 第25页 |
·金刚石形核分析 | 第25-26页 |
·金刚石膜分析 | 第26-29页 |
·本章小结 | 第29-30页 |
第三章 PVD 过渡层的制备工艺 | 第30-43页 |
·引言 | 第30页 |
·直流磁控溅射原理与设备 | 第30-33页 |
·直流磁控溅射原理 | 第30-32页 |
·直流磁控溅射设备 | 第32-33页 |
·溅射工艺对溅射速率的影响 | 第33-37页 |
·溅射功率对溅射速率的影响 | 第33-35页 |
·靶基距离对溅射速率的影响 | 第35-36页 |
·工作气压对溅射速率的影响 | 第36-37页 |
·溅射工艺和表面粗糙度对结合性能的影响 | 第37-41页 |
·工作气压对结合性能的影响 | 第38-40页 |
·衬底温度对结合性能的影响 | 第40页 |
·表面粗糙度对结合性能的影响 | 第40-41页 |
·本章小结 | 第41-43页 |
第四章 基于 PVD 过渡层的金刚石涂层制备 | 第43-61页 |
·引言 | 第43页 |
·实验设备与参数 | 第43-44页 |
·实验结果与讨论 | 第44-60页 |
·金刚石形核分析 | 第44-47页 |
·金刚石膜生长分析 | 第47-58页 |
·各种过渡层的综合比较 | 第58-60页 |
·本章小结 | 第60-61页 |
第五章 膜基结合性能评价 | 第61-68页 |
·引言 | 第61页 |
·实验方法与设备 | 第61-62页 |
·压痕法 | 第61-62页 |
·实验设备 | 第62页 |
·PVD 过渡层的金刚石涂层结合性能分析 | 第62-67页 |
·本章小结 | 第67-68页 |
第六章 总结与展望 | 第68-70页 |
·总结 | 第68-69页 |
·展望 | 第69-70页 |
参考文献 | 第70-76页 |
致谢 | 第76-77页 |
在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第77页 |