| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-11页 |
| ·课题背景和意义 | 第7页 |
| ·微量质量传感器的概述 | 第7-8页 |
| ·湿度传感器的概述及发展趋势 | 第8-9页 |
| ·论文的主要研究内容和结构 | 第9-11页 |
| 第二章 压电晶体理论分析 | 第11-21页 |
| ·石英晶体及其切型符号表示法 | 第12-13页 |
| ·石英晶体的压电效应 | 第13-19页 |
| ·晶体的极化性质 | 第14-15页 |
| ·晶体的弹性性质 | 第15-17页 |
| ·晶体的压电性质 | 第17-18页 |
| ·AT 切石英晶体的介电常数、弹性常数和压电常数矩阵 | 第18-19页 |
| ·本章小结 | 第19-21页 |
| 第三章 微量质量传感器的理论基础 | 第21-43页 |
| ·SAW 传感器的工作原理 | 第21-24页 |
| ·SAW 传感器气相工作原理 | 第21-23页 |
| ·SAW 传感器液相工作原理 | 第23-24页 |
| ·微悬臂梁传感器的工作原理 | 第24-26页 |
| ·微悬臂梁传感气相工作原理 | 第24-26页 |
| ·微悬臂梁传感器液相工作原理 | 第26页 |
| ·QCM 传感器的工作原理 | 第26-28页 |
| ·QCM 传感器气相传感器工作原理 | 第27页 |
| ·QCM 传感器液相传感器工作原理 | 第27-28页 |
| ·QCM 气相振荡电路的频带扩展与分析 | 第28-39页 |
| ·石英晶体谐振器的电抗频率特性分析 | 第29-31页 |
| ·与电容并联的石英晶体谐振器的电抗频率特性分析 | 第31-32页 |
| ·与电容串联的石英晶体谐振器的电抗频率特性分析 | 第32-34页 |
| ·与电感串联的石英晶体谐振器的电抗频率特性分析 | 第34-36页 |
| ·与电感并联的石英晶体谐振器的电抗频率特性分析 | 第36-38页 |
| ·与电容－电感并联的石英晶体谐振器的电抗频率特性分析 | 第38-39页 |
| ·石英晶体振荡器的基本电路 | 第39-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第四章 QCM 湿度传感器的制备与研究 | 第43-63页 |
| ·湿度传感器的研究 | 第43-46页 |
| ·湿度传感器的分类 | 第43-44页 |
| ·湿度传感器的发展历程 | 第44-45页 |
| ·表征湿度传感器性能的主要指标 | 第45-46页 |
| ·QCM 湿度传感器的测试平台 | 第46-50页 |
| ·QCM 湿度传感系统的振荡电路 | 第47-48页 |
| ·湿度测量方法 | 第48-49页 |
| ·QCM 晶体谐振器 | 第49页 |
| ·基片的清洗 | 第49-50页 |
| ·LiCl-QCM 湿度传感器的制备 | 第50-53页 |
| ·敏感膜的选择与制备 | 第50-51页 |
| ·QCM 型结构感湿有效性判定 | 第51-52页 |
| ·LiCl-QCM 湿度传感器的制备流程 | 第52-53页 |
| ·LiCl-QCM 湿度传感器感湿特性分析 | 第53-58页 |
| ·线性度与灵敏度 | 第54-56页 |
| ·有效感湿范围 | 第56-57页 |
| ·实时性、高效性 | 第57页 |
| ·重复性 | 第57-58页 |
| ·可逆性 | 第58页 |
| ·LiCl-PVA-QCM 湿度传感器感的研究 | 第58-60页 |
| ·掺 LiCl 的 PVA-QCM 湿度传感器的制备 | 第58页 |
| ·掺 LiCl 的 PVA-QCM 湿度传感器的感湿性 | 第58-60页 |
| ·本章小结 | 第60-63页 |
| 第五章 总结与展望 | 第63-65页 |
| ·总结 | 第63页 |
| ·展望 | 第63-65页 |
| 致谢 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-69页 |
| 附录 1：作者在攻读硕士学位期间发表的论文 | 第69-71页 |
| 附录 A：一些常见压材料的性能 | 第71-73页 |
| 附录 B：饱和盐湿度环境 | 第73-74页 |
