| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-32页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·微光机电系统的应用 | 第10-11页 |
| ·微反射镜 | 第10-11页 |
| ·微型干涉仪 | 第11页 |
| ·MEMS驱动器 | 第11-19页 |
| ·热驱动器 | 第12-13页 |
| ·电磁驱动器 | 第13-14页 |
| ·形状记忆合金驱动器 | 第14页 |
| ·静电驱动器 | 第14-17页 |
| ·压电驱动器 | 第17-18页 |
| ·各种驱动器比较 | 第18-19页 |
| ·压电驱动原理 | 第19-21页 |
| ·压电驱动器分类 | 第21-29页 |
| ·叠层型驱动器 | 第21-22页 |
| ·双压电晶片驱动器 | 第22-23页 |
| ·单层压电片驱动器 | 第23-25页 |
| ·Rainbow驱动器 | 第25-26页 |
| ·弯张驱动器 | 第26-28页 |
| ·功能梯度材料驱动器 | 第28-29页 |
| ·压电单晶驱动器研究现状 | 第29-31页 |
| ·压电单晶材料的研究现状 | 第29-30页 |
| ·压电单晶驱动器的研究现状 | 第30-31页 |
| ·论文主要研究内容 | 第31-32页 |
| 第二章 驱动器优化设计 | 第32-56页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·力学聚焦型驱动器结构设计 | 第32-42页 |
| ·优化设计概念 | 第32-35页 |
| ·力学聚焦型单层压电片理论分析 | 第35-39页 |
| ·仿真分析 | 第39-42页 |
| ·弯曲-力学聚焦型驱动器结构设计 | 第42-49页 |
| ·优化设计概念 | 第42-43页 |
| ·位移、驱动力分析 | 第43-47页 |
| ·仿真分析 | 第47-49页 |
| ·驱动器连接后位移分析 | 第49-51页 |
| ·PMN-PT单晶材料用于驱动器中的研究 | 第51-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第三章 基于PZT厚膜弯曲驱动器的自适应光学微变形镜的设计研究 | 第56-64页 |
| ·引言 | 第56页 |
| ·自适应光学中的可变形反射镜 | 第56-57页 |
| ·聚焦型驱动器驱动微变形镜的分析 | 第57-62页 |
| ·微变形镜结构设计 | 第57-58页 |
| ·位移迁移率 | 第58-60页 |
| ·微变形反射镜的静态性能仿真 | 第60-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 第四章 PMN-PT单晶驱动器驱动层状光栅干涉仪的设计研究 | 第64-73页 |
| ·引言 | 第64-65页 |
| ·层状光栅干涉仪工作原理 | 第65-69页 |
| ·可调光栅工作原理 | 第65-68页 |
| ·干涉仪光谱分辨率分析 | 第68-69页 |
| ·弯曲-力学聚焦型驱动器驱动层状光栅干涉仪的性能分析 | 第69-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 结论及展望 | 第73-76页 |
| ·结论 | 第73-75页 |
| ·展望 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-86页 |
| 致谢 | 第86页 |
