大功率开关晶体管的设计与制造
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-13页 |
| ·国内外大功率晶体管的发展概述 | 第10页 |
| ·大功率晶体管与小功率晶体管的比较 | 第10-11页 |
| ·大功率晶体管的工作特点和性能 | 第11-12页 |
| ·本论文的主要任务 | 第12-13页 |
| 第二章 大功率开关晶体管的设计原则 | 第13-18页 |
| ·大功率晶体管的零部件设计 | 第14页 |
| ·大功率晶体管的结构设计 | 第14页 |
| ·大功率晶体管的主要电参数设计 | 第14-17页 |
| ·大功率开关晶体管的最高工作结温 | 第14-15页 |
| ·大功率晶体管的反向特性 | 第15页 |
| ·大功率晶体管的开关特性 | 第15-16页 |
| ·大功率晶体管的电流放大系数 | 第16页 |
| ·大功率晶体管的热阻 | 第16-17页 |
| ·大功率晶体管的工艺设计 | 第17-18页 |
| 第三章 典型产品的设计与开发 | 第18-31页 |
| ·产品最大额定值 | 第18页 |
| ·产品主要电特性 | 第18-19页 |
| ·产品分析 | 第19页 |
| ·产品设计 | 第19-31页 |
| ·产品零部件设计 | 第19-20页 |
| ·结构设计 | 第20-22页 |
| ·电参数的设计 | 第22-27页 |
| ·产品工艺设计 | 第27页 |
| ·可靠性设计 | 第27-31页 |
| 第四章 典型产品的测试与优化 | 第31-48页 |
| ·试制产品的测试与对比 | 第31-33页 |
| ·关键技术问题的解决 | 第33-43页 |
| ·抗二次击穿技术 | 第33-36页 |
| ·三重扩散台面技术研究 | 第36-37页 |
| ·台面腐蚀工艺 | 第37-40页 |
| ·台面钝化技术研究 | 第40-41页 |
| ·产品一致性技术 | 第41页 |
| ·零部件改进 | 第41-43页 |
| ·关键工艺参数的确定 | 第43-46页 |
| ·产品工艺参数仿真 | 第43-44页 |
| ·关键工艺参数的确定 | 第44-46页 |
| ·主要技术平台建设 | 第46-47页 |
| ·高温扩散技术平台 | 第46页 |
| ·台面腐蚀技术平台 | 第46页 |
| ·玻璃内钝化技术平台 | 第46页 |
| ·测试技术平台 | 第46-47页 |
| ·改进后再投料情况 | 第47-48页 |
| 第五章 三个连续批的生产及产品试验 | 第48-71页 |
| ·三个连续批的生产情况 | 第48-51页 |
| ·三个连续批产品环境试验情况 | 第51-60页 |
| ·试验失效产品分析 | 第60-71页 |
| ·失效样品分析 | 第60-62页 |
| ·问题定位 | 第62-63页 |
| ·机理分析 | 第63-64页 |
| ·分析小结 | 第64-65页 |
| ·同批次产品验证试验 | 第65-67页 |
| ·对生产过程中热阻淘汰的产品进行验证 | 第67-68页 |
| ·分析结论 | 第68-69页 |
| ·问题复现 | 第69页 |
| ·改进措施 | 第69-70页 |
| ·举一反三 | 第70-71页 |
| 第六章 结论 | 第71-73页 |
| ·论文研究总结 | 第71-72页 |
| ·前景展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
