双解耦双自由度微机械陀螺的设计与仿真
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-15页 |
| ·课题背景 | 第7-8页 |
| ·微机械陀螺的发展现状 | 第8-12页 |
| ·微机械陀螺的性能与应用 | 第12-13页 |
| ·论文的目的和意义 | 第13页 |
| ·论文的主要内容 | 第13-15页 |
| 第2章 基本原理 | 第15-34页 |
| ·科里奥利力 | 第15-17页 |
| ·驱动和检测原理 | 第17-20页 |
| ·静电梳齿驱动原理 | 第18-19页 |
| ·差分电容检测原理 | 第19-20页 |
| ·双级解耦原理 | 第20-23页 |
| ·机械耦合误差 | 第20页 |
| ·悬浮效应 | 第20-21页 |
| ·解耦结构 | 第21-23页 |
| ·双自由度检测原理 | 第23-33页 |
| ·双自由度方程的列写与求解 | 第23-30页 |
| ·双自由度方程解的特性分析 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 结构设计和有限元仿真分析 | 第34-43页 |
| ·陀螺整体结构的设计方案 | 第34-36页 |
| ·有限元仿真 | 第36-42页 |
| ·静态仿真 | 第36-38页 |
| ·模态仿真 | 第38页 |
| ·抗过载分析 | 第38-40页 |
| ·解耦性能的分析 | 第40-42页 |
| ·本章小结 | 第42-43页 |
| 第4章 微陀螺的建模与仿真 | 第43-65页 |
| ·电学模型的建立与仿真 | 第43-51页 |
| ·电学模型的原理 | 第44-48页 |
| ·电学模型的仿真 | 第48-51页 |
| ·数学模型的建立与仿真 | 第51-64页 |
| ·数学模型的建立 | 第52页 |
| ·模型仿真 | 第52-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第5章 工艺仿真及版图设计 | 第65-72页 |
| ·关键制作工艺 | 第65-67页 |
| ·感应耦合等离子刻蚀 | 第65-67页 |
| ·阳极键合 | 第67页 |
| ·工艺仿真及版图设计 | 第67-71页 |
| ·工艺仿真 | 第68-70页 |
| ·版图设计 | 第70-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第78-80页 |
| 致谢 | 第80页 |
