基于0.5umCMOS工艺陀螺接口电路的研究与设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| ·引言 | 第8页 |
| ·振动式陀螺的分类及性能要求 | 第8-11页 |
| ·半球谐振陀螺 | 第9页 |
| ·光纤陀螺 | 第9-11页 |
| ·陀螺的性能要求 | 第11页 |
| ·微机械陀螺的发展现状 | 第11-16页 |
| ·玻璃载单晶硅音叉式陀螺 | 第12-13页 |
| ·微玻璃梳状调谐陀螺 | 第13-14页 |
| ·自激驱动微机械陀螺 | 第14-15页 |
| ·栅结构微机械陀螺 | 第15-16页 |
| ·振动式微机械陀螺接口电路的研究现状 | 第16-17页 |
| ·以外加交流电压驱动方式 | 第16页 |
| ·用表面微机械加工工艺实现闭环驱动陀螺 | 第16-17页 |
| ·研究的目的和意义 | 第17-18页 |
| ·课题主要研究内容 | 第18-19页 |
| 第2章 振动式微机械陀螺接口电路工作原理 | 第19-30页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·工作原理分析 | 第19-25页 |
| ·哥氏加速度 | 第19-21页 |
| ·微机械陀螺动力学分析 | 第21-25页 |
| ·微机械陀螺接口电路基本原理 | 第25-29页 |
| ·驱动电路原理 | 第25-27页 |
| ·差分电容式陀螺检测电路原理 | 第27-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 第3章 振动式微机械陀螺接口电路设计 | 第30-48页 |
| ·引言 | 第30页 |
| ·微机械陀螺接口电路整体方案设计 | 第30-31页 |
| ·运算放大器设计 | 第31-34页 |
| ·积分器设计 | 第34-38页 |
| ·高通滤波器设计 | 第38-39页 |
| ·低通滤波器设计 | 第39-40页 |
| ·低频驱动电路设计 | 第40-44页 |
| ·高频载波器设计 | 第44-45页 |
| ·整体电路仿真分析 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-48页 |
| 第4章 振动式微机械陀螺的版图设计 | 第48-64页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·版图设计简介 | 第48-51页 |
| ·模拟CMOS集成电路版图设计特点 | 第48页 |
| ·版图设计工具 | 第48-49页 |
| ·版图设计规则 | 第49-50页 |
| ·版图验证工具 | 第50-51页 |
| ·各个子元件的设计 | 第51-56页 |
| ·电阻设计 | 第51-52页 |
| ·MOS电容设计 | 第52-53页 |
| ·NMOS& PMOS设计 | 第53-54页 |
| ·CMOS电路抗静电设计 | 第54-56页 |
| ·具体单元的版图设计 | 第56-60页 |
| ·CMOS运放的版图设计 | 第56-58页 |
| ·电流镜的版图设计 | 第58-60页 |
| ·整体版图设计及后仿结果 | 第60-63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
