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类金刚石薄膜a-SiC:H薄膜及环境因素对其结构与特性的影响

第1章 绪论第1-40页
 §1.1 类金刚石薄膜及a-SiC:H薄膜发展历史及其背景第7-9页
  §1.1.1 (类)金刚石薄膜第7-8页
  §1.1.2 SiC及其薄膜第8-9页
 §1.2 国内外研究现状及其前景第9-16页
  §1.2.1 DLC薄膜第10-14页
  §1.2.2 SiC及其薄膜第14-16页
 §1.3 样品的表征及其结构特性第16-33页
  §1.3.1 表征第16-23页
  §1.3.2 结构及特性第23-29页
  §1.3.3 薄膜特性及其应用第29-33页
 §1.4 光子及粒子与物质作用机理第33-37页
 参考文献第37-40页
第2章 DLC及a-SiC:H薄膜的γ射线辐照效应第40-74页
 §2.1 DLC薄膜的γ射线辐照第40-62页
  §2.1.1 前言第40页
  §2.1.2 实验第40-43页
  §2.1.3 实验结果第43-53页
  §2.1.4 实验结果讨论第53-58页
  §2.1.5 小结第58-60页
  参考文献第60-62页
 §2.2 a-SiC:H薄膜的γ射线辐照第62-74页
  §2.2.1 前言第62页
  §2.2.2 实验第62-63页
  §2.2.3 实验结果第63-70页
  §2.2.4 实验结果讨论第70-72页
  §2.2.5 小结第72-73页
  参考文献第73-74页
第3章 DLC及a-SiC:H薄膜的中子辐照效应第74-89页
 §3.1 DLC薄膜的中子辐照第74-82页
  §3.1.1 前言第74页
  §3.1.2 样品的制备与处理第74页
  §3.1.3 实验结果第74-78页
  §3.1.4 实验结果讨论第78-79页
  §3.1.5 小结第79-80页
  参考文献第80-82页
 §3.2 a-SiC:H薄膜的中子辐照第82-89页
  §3.2.1 前言第82页
  §3.2.2 样品的制备及处理第82页
  §3.2.3 实验结果第82-86页
  §3.2.4 实验结果讨论第86-87页
  §3.2.5 小结第87-88页
  参考文献第88-89页
第4章 类金刚石薄膜的N离子辐照效应第89-101页
 §4.1 前言第89页
 §4.2 样品的制备与处理第89-90页
 §4.3 实验结果第90-95页
 §4.4 实验结果讨论第95-98页
 §4.5 小结第98-99页
 参考文献第99-101页
第5章 含氮DLC薄膜的紫外辐照第101-114页
 §5.1 前言第101页
 §5.2 样品的制备与处理第101-102页
 §5.3 实验结果第102-109页
 §5.4 实验结果讨论第109-111页
 §5.5 小结第111-112页
 参考文献第112-114页
结论第114-117页
致谢第117-118页
攻读博士学位期间撰写的主要论文第118页

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