| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 1 绪论 | 第12-35页 |
| ·引言 | 第12-13页 |
| ·微结构气体传感器的结构及原理 | 第13-18页 |
| ·微结构气敏传感器阵列的制备技术研究现状 | 第18-24页 |
| ·气敏传感器的性能指标 | 第24-27页 |
| ·气敏传感器稳定性研究 | 第27-33页 |
| ·本课题研究的目的、意义和内容 | 第33-35页 |
| 2 气敏传感器阵列的制备技术 | 第35-63页 |
| ·引言 | 第35页 |
| ·阵列加热器制备 | 第35-42页 |
| ·测量电极 | 第42-48页 |
| ·气敏浆料与印刷工艺研究 | 第48-60页 |
| ·气敏阵列的封装工艺 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-63页 |
| 3 纳米ZnO传感器的敏感性与稳定性 | 第63-97页 |
| ·引言 | 第63页 |
| ·气敏元件的稳定性评价方法 | 第63-67页 |
| ·实验过程 | 第67-70页 |
| ·实验结果与讨论 | 第70-95页 |
| ·本章小结 | 第95-97页 |
| 4 掺杂纳米ZnO传感器的敏感性与稳定性 | 第97-123页 |
| ·引言 | 第97页 |
| ·外磁场诱导Ni掺杂纳米ZnO传感器阵列的制备与气敏性能研究 | 第97-105页 |
| ·Al_2O_3-TiO_2-V_2O_5复合掺杂的纳米ZnO气敏传感器阵列敏感性与稳定性 | 第105-115页 |
| ·Bi_2O_3，Cu_2O掺杂的ZnO气敏传感器阵列敏感性与稳定性研究 | 第115-121页 |
| ·本章小结 | 第121-123页 |
| 5 微波烧结纳米ZnO传感器的敏感性与稳定性 | 第123-145页 |
| ·引言 | 第123-125页 |
| ·微波烧结纳米ZnO气敏传感器阵列的制备与性能研究 | 第125-134页 |
| ·微波烧结复合掺杂的纳米ZnO传感器阵列制备与性能研究 | 第134-143页 |
| ·本章小结 | 第143-145页 |
| 6 纳米ZnO及掺杂体系传感器稳定性的复阻抗分析 | 第145-169页 |
| ·引言 | 第145-146页 |
| ·基本理论 | 第146-147页 |
| ·实验过程 | 第147页 |
| ·电炉烧结掺杂纳米ZnO厚膜稳定性的阻抗谱分析 | 第147-154页 |
| ·微波烧结掺杂纳米ZnO厚膜稳定性的阻抗谱分析 | 第154-161页 |
| ·水浴处理掺杂纳米ZnO厚膜的稳定性的阻抗谱分析 | 第161-167页 |
| ·本章小结 | 第167-169页 |
| 7 全文总结 | 第169-172页 |
| ·主要结论 | 第169-171页 |
| ·下一步的工作设想 | 第171-172页 |
| 致谢 | 第172-173页 |
| 参考文献 | 第173-190页 |
| 附录1 攻读博士学位期间发表的论文目录 | 第190-191页 |
| 附录2 攻读学位期间申请专利目录 | 第191页 |
