| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-11页 |
| 1 绪论 | 第11-19页 |
| ·薄膜研究的发展概况 | 第11-13页 |
| ·载能沉积行为研究的科学意义和研究概况 | 第13-16页 |
| ·本论文工作的研究背景和研究重点 | 第16-19页 |
| 2 分子动力学模拟的研究方法 | 第19-29页 |
| ·计算机模拟的意义及发展概况 | 第19-21页 |
| ·分子动力学原理 | 第21-25页 |
| ·分子动力学基本方程 | 第21-22页 |
| ·分子动力学算法 | 第22-25页 |
| ·原子间相互作用势 | 第25-29页 |
| ·原子间相互作用势简介 | 第25-26页 |
| ·EAM原子间相互作用势 | 第26-29页 |
| 3 贵金属低能沉积过程中表面溅射行为的研究 | 第29-64页 |
| ·物理模型与近似方法 | 第29-31页 |
| ·模型近似方法 | 第29-30页 |
| ·物理模型 | 第30-31页 |
| ·低能沉积的溅射原子产额 | 第31-44页 |
| ·低能溅射产额的经验公式 | 第32-33页 |
| ·低能溅射产额的模拟结果 | 第33-36页 |
| ·M1/M2<1时的溅射产额研究 | 第36-39页 |
| ·M1/M2>1时的溅射产额研究 | 第39-42页 |
| ·M1=M2时的溅射产额研究 | 第42-44页 |
| ·低能溅射的机制 | 第44-50页 |
·M1| 第44-49页 | |
| ·M1≥M2时的低能溅射机制 | 第49-50页 |
| ·溅射原子的空间分布规律研究 | 第50-62页 |
| ·被溅射原子的分布花样 | 第51-55页 |
| ·被溅射原子的角度分布 | 第55-58页 |
| ·被溅射原子的能量分布 | 第58-62页 |
| ·本章小结 | 第62-64页 |
| 4 贵金属低能沉积对表面形貌影响的研究 | 第64-102页 |
| ·低能沉积过程对Au(111)和Pt(111)表面影响的研究 | 第64-74页 |
| ·表面吸附原子产额 | 第65-68页 |
| ·表面空位产额 | 第68-74页 |
| ·低能沉积过程对Ag(111)和Pd(111)表面影响的研究 | 第74-83页 |
| ·表面吸附原子产额 | 第74-78页 |
| ·表面空位产额 | 第78-83页 |
| ·低能沉积过程对Ni(111)和Cu(111)表面影响的研究 | 第83-92页 |
| ·表面吸附原子产额 | 第86-88页 |
| ·表面空位产额 | 第88-92页 |
| ·吸附原子花样 | 第92-100页 |
·M1| 第92-96页 | |
| ·M1≥M2时的吸附原子分布 | 第96-100页 |
| ·本章小结 | 第100-102页 |
| 5 贵金属异质外延成核的应变与结构演化 | 第102-122页 |
| ·相关物理参数的计算方法 | 第102-103页 |
| ·原子的局域压力 | 第102-103页 |
| ·外延岛与基体的膜基结合能 | 第103页 |
| ·基体的形变能 | 第103页 |
| ·Cu/Au(001)和Au/Cu(001)体系异质外延行为的研究 | 第103-111页 |
| ·物理模型和模拟方法 | 第103页 |
| ·外延岛形貌和应变分布的非对称演化行为 | 第103-107页 |
| ·微观失配对外延岛与基体的结合能及基体形变能的影响 | 第107-111页 |
| ·Ag/Cu(111)和Au/Cu(111)体系异质外延岛的结构及其演化 | 第111-120页 |
| ·物理模型和模拟方法 | 第112页 |
| ·Ag/Cu(111)和Au/Cu(111)体系的异质外延结构 | 第112-115页 |
| ·Ag/Cu(111)和Au/Cu(111)体系的外延岛演化 | 第115-120页 |
| ·本章小结 | 第120-122页 |
| 结论 | 第122-124页 |
| 参考文献 | 第124-132页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第132-133页 |
| 创新点摘要 | 第133-134页 |
| 致谢 | 第134-135页 |
| 作者简介 | 第135-136页 |
