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微喷和微喷/激光复合直写导体关键技术的研究

摘要第1-5页
Abstract第5-9页
1 概论第9-19页
   ·前言第9页
   ·直写技术的国内外研究概况第9-16页
     ·微喷直写技术的国内外研究概况第9-13页
     ·激光直写技术的国内外研究概况第13-16页
   ·本课题的来源、方法以及应用前景第16页
   ·本课题的研究目标、技术路线及创新第16-18页
     ·研究目标第16页
     ·技术路线第16-17页
     ·主要创新第17-18页
   ·本章小结第18-19页
2 直写系统的组成及工艺原理第19-24页
   ·前言第19页
   ·系统组成第19-22页
   ·工艺原理第22-23页
   ·本章小结第23-24页
3 微喷和微喷/激光复合直写导体的工艺研究第24-34页
   ·前言第24页
   ·实验设备和实验材料第24-25页
   ·微喷工艺参数的影响第25-30页
     ·微喷工艺参数对导体宽度的影响第25-28页
     ·微喷工艺参数对导体电学性能的影响第28-30页
   ·激光扫描的作用第30-33页
   ·本章小结第33-34页
4 微喷和微喷/激光复合直写导体的机理及性能研究第34-50页
   ·前言第34页
   ·电子浆料的球磨对布线工艺的影响及SEM 分析第34-36页
   ·微喷/激光复合直写技术原理的探讨第36-43页
     ·雾化原理第36-37页
     ·泄压原理第37-38页
     ·导体的形成机理第38-42页
     ·导体与基材的结合机理第42-43页
   ·微喷/激光复合直写技术制备导体的性能研究第43-47页
     ·导体的电学性能研究第44-45页
     ·导体的力学性能研究第45-47页
   ·微喷/激光复合直写技术的应用第47-49页
   ·本章小结第49-50页
5 全文总结与展望第50-52页
   ·主要结论第50-51页
   ·本研究存在的问题及应用前景第51-52页
致谢第52-53页
参考文献第53-58页
附录 作者在攻读硕士学位期间发表文章和申请专利情况第58页

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