| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-15页 |
| ·引言 | 第11-13页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第13-15页 |
| 第二章 绝对距离和绝对位置坐标测量中的几种常用方法 | 第15-25页 |
| ·多波长干涉测量法 | 第15-16页 |
| ·外差干涉测量法 | 第16-18页 |
| ·白光干涉测量法 | 第18-19页 |
| ·激光自混合干涉法 | 第19-21页 |
| ·点衍射干涉法 | 第21-25页 |
| 第三章 Y 型多针孔干涉仪 | 第25-39页 |
| ·理论分析 | 第26-30页 |
| ·实验结果及讨论 | 第30-36页 |
| ·实验结果 | 第30-32页 |
| ·结果讨论 | 第32-36页 |
| ·小结 | 第36-39页 |
| 第四章 基于Y 型多针孔干涉仪绝对位置坐标测量 | 第39-51页 |
| ·理论分析 | 第39-41页 |
| ·实验结果及讨论 | 第41-48页 |
| ·计算机模拟实验 | 第41-46页 |
| ·实验测量 | 第46-48页 |
| ·小结 | 第48-51页 |
| 第五章 总结 | 第51-53页 |
| ·本论文的主要研究成果 | 第51-52页 |
| ·拟进一步开展的工作 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第57-58页 |
| 致谢 | 第58页 |