| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| ·研究背景和意义 | 第8页 |
| ·Sr_2TiO_4的结构及主要特征 | 第8-9页 |
| ·Sr_2TiO_4材料的研究现状 | 第9-10页 |
| ·Sr_2TiO_4透明导电薄膜的制备方法 | 第10-15页 |
| ·脉冲激光沉积 | 第10-11页 |
| ·湿化学方法 | 第11页 |
| ·分子束外延 | 第11-12页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第12-15页 |
| ·本论文的主要工作 | 第15-16页 |
| 第二章 实验方案设计与样品表征 | 第16-28页 |
| ·实验方案的设计 | 第16-22页 |
| ·试剂的选取 | 第17-19页 |
| ·实验设备 | 第19页 |
| ·基片的清洗 | 第19-20页 |
| ·溶胶的制备 | 第20页 |
| ·陈化 | 第20页 |
| ·匀胶 | 第20-21页 |
| ·热处理 | 第21-22页 |
| ·样品的测试与表征 | 第22-26页 |
| ·X射线衍射分析 | 第22页 |
| ·扫描电子显微镜 | 第22-23页 |
| ·原子力显微镜 | 第23-24页 |
| ·透射电子显微镜 | 第24页 |
| ·薄膜分析仪 | 第24-25页 |
| ·热重分析仪 | 第25页 |
| ·四探针分析仪 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 第三章 Sr_2TiO_4粉体材料的制备及工艺优化 | 第28-42页 |
| ·前驱液单因素实验 | 第28-29页 |
| ·水量的影响 | 第28页 |
| ·酸量的影响 | 第28-29页 |
| ·凝胶热分析 | 第29-32页 |
| ·制备工艺优化 | 第32-40页 |
| ·正交设计的相关知识 | 第32-33页 |
| ·交实验参数设计 | 第33-34页 |
| ·实验结果与讨论 | 第34-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 Sr_2TiO_4本征薄膜表征及优化 | 第42-50页 |
| ·薄膜的结构特征分析 | 第42-43页 |
| ·PVP的加入量对薄膜表面形貌的影响 | 第43-46页 |
| ·金相显微镜及SEM分析 | 第43-45页 |
| ·AFM分析 | 第45-46页 |
| ·PVP的加入量对薄膜光学特性的影响 | 第46-47页 |
| ·薄膜的厚度分析 | 第47-48页 |
| ·本章小结 | 第48-50页 |
| 第五章 掺杂对Sr_2TiO_4薄膜性能的影响 | 第50-60页 |
| ·掺杂剂的选取 | 第50页 |
| ·掺杂薄膜的结构分析 | 第50-51页 |
| ·掺杂浓度对薄膜表面形貌的影响 | 第51-54页 |
| ·金相显微镜与SEM分析 | 第51-53页 |
| ·AFM分析 | 第53-54页 |
| ·掺杂浓度对薄膜透射率及反射率的影响 | 第54-57页 |
| ·掺杂浓度对薄膜吸收率的影响 | 第57页 |
| ·掺杂浓度对薄膜电学性能的影响 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-60页 |
| 结论与展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-68页 |
| 硕士期间取得的学术成果 | 第68-70页 |
| 致谢 | 第70页 |