硅集成探针技术及微纳摩擦效应研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-17页 |
| ·微纳电子机械系统 | 第7-10页 |
| ·MEMS技术及其特点 | 第7-8页 |
| ·NEMS技术的出现与发展趋势 | 第8-10页 |
| ·扫描探针显微镜(SPM)技术 | 第10-11页 |
| ·扫描探针显微镜介绍 | 第10-11页 |
| ·扫描探针显微镜家族的发展 | 第11页 |
| ·微纳探针 | 第11-14页 |
| ·光学敏感针尖—悬臂梁结构探针 | 第12-13页 |
| ·压阻敏感针尖—悬臂梁结构探针 | 第13-14页 |
| ·针尖—悬臂梁结构微纳探针应用 | 第14-15页 |
| ·微纳摩擦特性研究 | 第15页 |
| ·本论文的主要工作 | 第15-17页 |
| 第2章 微纳探针设计与制造 | 第17-27页 |
| ·U形悬臂梁探针阵列器件结构 | 第17-18页 |
| ·U形悬臂梁探针阵列器件制造工艺 | 第18-22页 |
| ·硅尖低温氧化削尖技术 | 第18-19页 |
| ·工艺步骤 | 第19-22页 |
| ·U形悬臂梁探针阵列器件制造结果 | 第22-26页 |
| ·探针器件的封装 | 第26-27页 |
| 第3章 基于微纳探针的摩擦特性研究 | 第27-43页 |
| ·悬臂梁力热特性表征 | 第27-32页 |
| ·探针器件的电阻温度系数标定 | 第27-29页 |
| ·悬臂梁弹性系数的测定 | 第29-30页 |
| ·针尖加热成形实验 | 第30-32页 |
| ·实验准备 | 第32-33页 |
| ·PMMA薄膜的制备 | 第32-33页 |
| ·实验设备 | 第33页 |
| ·摩擦实验结果与讨论 | 第33-43页 |
| ·摩擦的温度和尺度效应 | 第33-35页 |
| ·摩擦与PMMA薄膜的结构转变 | 第35-38页 |
| ·PMMA薄膜的粘附力与温度的关系 | 第38-40页 |
| ·摩擦、粘附与结构转变 | 第40-43页 |
| 第4章 液体点样探针设计 | 第43-52页 |
| ·介质上电润湿技术(EWOD) | 第44-46页 |
| ·孔径探针形成技术 | 第46-48页 |
| ·点样探针的设计 | 第48-52页 |
| ·工艺流程图 | 第49-50页 |
| ·工艺介绍 | 第50-51页 |
| ·结构示意图 | 第51-52页 |
| 第5章 总结 | 第52-53页 |
| 参考文献 | 第53-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文目录 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
| 作者简介 | 第61页 |
