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小型超精密金刚石刀具研磨装置的研究开发

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-8页
目录第8-10页
CONTENTS第10-12页
第一章 绪论第12-18页
   ·本课题的研究意义第12页
   ·国内外研究现状第12-17页
     ·天然金刚石及金刚石膜的表面加工技术第12-14页
     ·机械研磨装置技术的发展第14-17页
   ·课题的来源与主要研究内容第17-18页
     ·课题来源第17页
     ·课题研究的主要目标第17页
     ·课题研究的主要内容第17-18页
第二章 研磨装置总体设计及组成第18-22页
   ·研磨装置的总体设计第18-19页
   ·研磨装置组成及作用第19-22页
第三章 研磨装置机械系统设计第22-37页
   ·主轴系统设计第22-23页
   ·研磨盘设计及制作第23-27页
   ·进给运动机构的设计及制作第27-32页
   ·空气过滤系统的设计及制作第32-35页
   ·精密研磨装置总体装配第35-37页
第四章 研磨装置控制系统设计第37-68页
   ·主轴控制系统的设计第37-43页
   ·进给运动控制系统的设计第43-68页
     ·定位控制及轨迹控制程序设计第43-44页
     ·伺服地址信息检测系统设计第44-68页
第五章 精密研磨装置的初步实验第68-74页
   ·实验条件及分析仪器第68-69页
   ·实验一:高质量表面研磨实验第69-70页
   ·实验二:高质量刃口研磨实验第70-72页
   ·实验三:商用精密金刚石刀刃修复及结果比较实验第72页
   ·小结第72-74页
结论与展望第74-76页
参考文献第76-79页
攻读学位期间发表的论文第79-80页
独创性声明第80-81页
致谢第81-82页
附录第82-98页

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