| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-18页 |
| ·脉冲功率技术概述 | 第9-12页 |
| ·断路开关及新型半导体断路开关 | 第12-17页 |
| ·本论文研究内容 | 第17-18页 |
| 2 半导体断路开关 SOS | 第18-30页 |
| ·半导体中纳秒电流关断现象 | 第18-20页 |
| ·SOS 的物理数学模型及基本工作原理 | 第20-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 基于 SOS 的脉冲功率发生器 | 第30-40页 |
| ·SOS 脉冲功率发生器电路结构 | 第30-34页 |
| ·RLC 电路模型 | 第34-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 4 SOS 效应测试电路的实现与实验分析 | 第40-51页 |
| ·SOS 效应测试电路设计 | 第40-43页 |
| ·实验结果分析 | 第43-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 5 SOS 二极管芯片工艺实验研究 | 第51-62页 |
| ·工艺流程 | 第51-55页 |
| ·硅片化学腐蚀减薄工艺及实验 | 第55-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 6 结论 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-70页 |
| 附录 1 攻读硕士学位期间发表的论文目录 | 第70页 |