超纯水微细电解加工的基础研究

摘要	第1-7页
Abstract	第7-18页
第一章 绪论	第18-35页
·引言	第18-19页
·微细电解加工技术及其发展概况	第19-26页
·脉冲微细电解加工技术	第19-22页
·电液束微细电解加工技术	第22-23页
·基于扫描探针显微术的微细电解加工技术	第23-24页
·掩模微细电解加工技术	第24-26页
·微细电解复合加工技术	第26页
·水解离技术及其研究状况	第26-32页
·膜分离技术的发展	第26-28页
·水解离技术的应用	第28-29页
·水解离技术的研究状况	第29-32页
·本课题的研究计划	第32-35页
·课题研究意义	第32-34页
·课题来源与计划研究内容	第34-35页
第二章 超纯水微细电解加工的理论基础	第35-54页
·超纯水微细电解加工基础	第35-41页
·电解加工原理	第35-37页
·微细电解加工的电化学基础	第37-39页
·微细电解加工的条件	第39-41页
·超纯水微细电解加工的电解液特性	第41-44页
·电解加工中电解液的作用及其基本要求	第41-42页
·超纯水作为电解液的可行性	第42-43页
·超纯水作为电解液的性能	第43-44页
·超纯水微细电解加工的水解离理论	第44-53页
·水解离模型的建立	第44-47页
·水解离理论分析	第47-50页
·离子交换膜的选择透过性理论对水解离的解释	第50-53页
·本章小结	第53-54页
第三章 超纯水微细电解加工的水解离试验研究	第54-75页
·离子交换树脂催化水解离试验研究	第54-63页
·离子交换树脂的结构与性能指标	第54-55页
·离子交换树脂的处理	第55-56页
·离子交换树脂的再生	第56-57页
·离子交换树脂催化水解离试验	第57-59页
·水解离影响因素分析	第59-62页
·试验结论	第62-63页
·离子交换膜催化水解离试验研究	第63-70页
·离子交换膜概述	第63-64页
·离子交换膜的主要技术指标	第64-65页
·离子交换膜催化水解离试验研究	第65-67页
·离子交换膜催化水解离的影响因素	第67-70页
·双极膜催化水解离的研究现状	第70-72页
·离子交换材料的选择原则	第72-73页
·本章小结	第73-75页
第四章 超纯水微细电解加工试验装置的研制	第75-92页
·超纯水微细电解加工的特点	第75-77页
·微细电解加工的特点	第75-76页
·超纯水电解加工的特点	第76-77页
·试验装置的系统设计	第77-79页
·试验装置设计中的关键问题	第79-83页
·电解槽的设计与制造	第79页
·离子交换材料放置空间设计	第79-80页
·阴、阳极安装及夹紧设计	第80-82页
·其它部分的设计	第82-83页
·试验装置的使用说明	第83-85页
·阳离子交换树脂催化水解离的试验装置	第83-84页
·阳离子交换膜催化水解离的试验装置	第84-85页
·微进给系统实现方案的确定	第85-91页
·压电陶瓷微进给系统	第86-89页
·数控系统及其微进给编程的实现	第89-91页
·本章小结	第91-92页
第五章 超纯水微细电解加工的工艺试验研究	第92-115页
·超纯水微细电解加工可行性试验	第92-99页
·试验目的	第92页
·试验条件	第92-93页
·阴极加工	第93-94页
·试验过程	第94-95页
·试验结果及分析	第95-99页
·可行性试验结论	第99页
·超纯水微细电解加工的工艺试验	第99-108页
·试验目的	第99页
·ηω—i 曲线的测定	第99-102页
·三角/方形微小孔的试验加工	第102-105页
·2D/3D 超纯水微细电解加工试验	第105-106页
·试验中出现的问题	第106-108页
·脉冲电流超纯水微细电解加工试验研究	第108-111页
·脉冲电流电解加工的原理	第108-109页
·脉冲电流超纯水微细电解加工	第109-111页
·超声波辅助超纯水微细电解加工试验研究	第111-113页
·本章小结	第113-115页
第六章 总结与展望	第115-117页
·论文总结	第115-116页
·工作展望	第116-117页
参考文献	第117-128页
致谢	第128-129页
在学期间发表的学术论文及研究成果	第129页