化学机械抛光中抛光垫修整技术的研究
| 独创性说明 | 第1-3页 |
| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-23页 |
| ·课题的理论意义和应用价值 | 第8-13页 |
| ·化学机械抛光技术的发展与应用 | 第8-10页 |
| ·抛光垫修整的意义 | 第10-13页 |
| ·国内外研究概况及发展趋势 | 第13-22页 |
| ·抛光垫的常用修整方法 | 第13页 |
| ·金刚石修整器种类及其应用现状 | 第13-16页 |
| ·修整器的未来展望 | 第16-17页 |
| ·修整器参数与修整工艺参数研究 | 第17-22页 |
| ·研究内容和方法 | 第22-23页 |
| ·课题来源 | 第22页 |
| ·研究内容要解决的问题 | 第22页 |
| ·预期达到的成果和水平 | 第22-23页 |
| 2 抛光垫的分类、特性及其检测技术 | 第23-30页 |
| ·抛光垫的分类 | 第23-25页 |
| ·抛光垫的特性及其对抛光效果的影响 | 第25-26页 |
| ·抛光垫的表面结构 | 第26-27页 |
| ·抛光垫表面的微观检测 | 第27-30页 |
| 3 抛光垫修整的仿真分析 | 第30-45页 |
| ·修整轨迹方程的建立 | 第30-33页 |
| ·行星运动修整轨迹方程 | 第30-31页 |
| ·直线摆动修整轨迹方程 | 第31-32页 |
| ·弧线摆动修整轨迹方程 | 第32-33页 |
| ·修整轨迹讨论 | 第33-39页 |
| ·单颗粒金刚石修整轨迹分析 | 第33-35页 |
| ·多颗粒金刚石修整轨迹分析 | 第35-39页 |
| ·修整轨迹密度仿真 | 第39-45页 |
| ·摆动修整密度方程的建立 | 第40-43页 |
| ·修整轨迹密度仿真及结论 | 第43-45页 |
| 4 抛光垫修整效果研究 | 第45-64页 |
| ·金刚石修整器设计 | 第45-52页 |
| ·修整器设计制造需要考虑的几个关键因素 | 第45-47页 |
| ·修整器设计 | 第47-50页 |
| ·修整夹具与装配 | 第50-52页 |
| ·修整实验 | 第52-64页 |
| ·实验规划 | 第52-54页 |
| ·抛光垫表面粗糙度和材料去除率的测量 | 第54-56页 |
| ·修整实验 | 第56-63页 |
| ·实验结论 | 第63-64页 |
| 5 结论与展望 | 第64-66页 |
| ·结论 | 第64-65页 |
| ·未来展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-69页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第71页 |
