载流子注入型MMI光开关设计

第一章 绪论	第1-29页
·引言	第6-7页
·光开关技术及其研究进展	第7-14页
·光开关的主要应用领域	第7-8页
·光开关的研究方法及其目标	第8-10页
·常见光开关类型及特点	第10-14页
·多模干涉型光开关研究进展	第14-19页
·调相型 MMI光开关	第14-17页
·调节区域 MMI光开关	第17-19页
·高速光开关研究进展	第19-20页
·本论文的主要内容	第20-21页
参考文献	第21-29页
第二章 载流子注入 MMI光开关原理	第29-49页
·载流子注入机制	第29-35页
·能带填充效应	第29-31页
·带隙收缩效应	第31-32页
·自由载流子吸收效应	第32-33页
·三种效应的迭加	第33-35页
·GaAs/GaAlAs异质结材料	第35页
·多模干涉光开关原理	第35-45页
·多模波导的自映像效应	第35-38页
·多模干涉型器件应用	第38-41页
·多模干涉光开关的工作机理	第41-43页
·多模干涉光开关的性能指标	第43-45页
参考文献	第45-49页
第三章 载流子注入 MMI光开关的设计	第49-73页
·材料设计	第49-50页
·载流子注入 MMI光开关设计	第50-72页
·单模波导的设计	第50-52页
·工作波长1.5μm的2×2光开关设计	第52-57页
·工作波长1.55μm的3×3光开关设计	第57-65页
·双波长2×2光开关的设想	第65-72页
参考文献	第72-73页
第四章 光开关的制作工艺	第73-86页
·材料生长	第73-74页
·GaAs体材料的生长	第73页
·外延材料的生长	第73-74页
·光开关制作的工艺	第74-84页
·光开关掩膜版图的绘制	第74-76页
·光开关工艺制作的主要流程	第76-84页
·工艺总结	第84-85页
参考文献	第85-86页
第五章 总结与展望	第86-88页
·总结	第86-87页
·后续工作及前景展望	第87-88页
致谢	第88页