| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-14页 |
| §1-1 引言 | 第8页 |
| §1-2 激光加工的定义、分类和特点 | 第8-10页 |
| §1-3 激光加工的发展趋势 | 第10-11页 |
| §1-4 激光扫描加工的方式 | 第11页 |
| §1-5 我国激光加工面临的机遇和挑战以及解决的政策和手段 | 第11-12页 |
| §1-6 我国单晶硅应用于太阳能发电的现状 | 第12-13页 |
| §1-7 本课题研究的意义与价值 | 第13-14页 |
| 第二章 激光扫描加工系统 | 第14-24页 |
| §2-1 激光产生原理 | 第14-18页 |
| 2-1-1 激光产生相关概念 | 第14-17页 |
| 2-1-2 激光产生机理 | 第17-18页 |
| §2-2 激光扫描加工技术系统组成 | 第18-22页 |
| 2-2-1 激光器 | 第18-20页 |
| 2-2-2 冷却系统 | 第20-21页 |
| 2-2-3 光学系统 | 第21页 |
| 2-2-4 控制系统 | 第21页 |
| 2-2-5 机械装置 | 第21-22页 |
| §2-3 激光扫描加工系统方案的确定 | 第22-23页 |
| §2-4 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 激光扫描加工光束质量改进系统 | 第24-30页 |
| §3-1 激光扫描加工光束扩束系统 | 第24-25页 |
| §3-2 激光扫描加工光束聚焦系统 | 第25-29页 |
| §3-3 本章小结 | 第29-30页 |
| 第四章 激光扫描加工TTAF焦距确定算法 | 第30-44页 |
| §4-1 激光扫描加工控制算法 | 第30-33页 |
| 4-1-1 激光扫描加工图形控制算法介绍 | 第30页 |
| 4-1-2 激光扫描加工图形控制算法推导 | 第30-33页 |
| §4-2 激光扫描加工f θ图形控制算法 | 第33-36页 |
| 4-2-1 f θ图形控制算法推演 | 第33-35页 |
| 4-2-2 f θ图形控制算法畸变误差分析 | 第35-36页 |
| §4-3 激光扫描加工OEF图形控制算法 | 第36-41页 |
| 4-3-1 OEF图形控制算法推演 | 第36-40页 |
| 4-3-2 OEF图形控制算法畸变误差分析 | 第40-41页 |
| §4-4 激光扫描加工TTAF焦距确定算法 | 第41-43页 |
| §4-5 本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 激光扫描加工控制系统 | 第44-53页 |
| §5-1 硬件控制系统 | 第44-49页 |
| 5-1-1 控制系统组成 | 第44-49页 |
| §5-2 软件控制系统 | 第49-52页 |
| 5-2-1 控制系统用户界面 | 第49-51页 |
| 5-2-2 软件系统用户界面 | 第51页 |
| 5-2-3 重要加工参数 | 第51-52页 |
| §5-3 本章小结 | 第52-53页 |
| 第六章 TTAF算法焦距确定实验及误差分析 | 第53-63页 |
| §6-1 TTAF算法提出原理 | 第53-54页 |
| §6-2 可靠性介绍 | 第54-55页 |
| §6-3 系统中影响可靠性的因素 | 第55-57页 |
| §6-4 激光扫描加工实验 | 第57-61页 |
| §6-5 激光扫描加工实验分析 | 第61-62页 |
| 6-5-1 划槽图象分析 | 第61-62页 |
| 6-5-2 改变光斑大小的方法 | 第62页 |
| §6-6 本章小结 | 第62-63页 |
| 第七章 结论 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-67页 |
| 致谢 | 第67-68页 |
| 攻读学位期间所取得的相关科研成果 | 第68页 |